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1. WO2020129726 - ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置

公開番号 WO/2020/129726
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/048055
国際出願日 09.12.2019
IPC
B01D 53/14 2006.01
B処理操作;運輸
01物理的または化学的方法または装置一般
D分離
53ガスまたは蒸気の分離;ガスからの揮発性溶剤蒸気の回収;廃ガスの化学的または生物学的浄化,例.エンジン排気ガス,煙,煙霧,煙道ガスまたはエアロゾル
14吸収によるもの
G01N 30/06 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
30吸着,吸収もしくは類似現象,またはイオン交換,例.クロマトグラフィ,を用いる成分分離による材料の調査または分析
02カラムクロマトグラフィ
04分析試料の調製または導入
06調製
G01N 30/88 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
30吸着,吸収もしくは類似現象,またはイオン交換,例.クロマトグラフィ,を用いる成分分離による材料の調査または分析
02カラムクロマトグラフィ
88グループG01N30/04~G01N30/86のうちの1つに含まれないもので,カラムクロマトグラフィに特に用いられる統合的分析
出願人
  • 昭和電工株式会社 SHOWA DENKO K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 鈴木 淳 SUZUKI Atsushi
  • 松井 一真 MATSUI Kazuma
代理人
  • 特許業務法人SSINPAT SSINPAT PATENT FIRM
優先権情報
2018-23951621.12.2018JP
2019-19430125.10.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR REMOVING HALOGEN FLUORIDE, QUANTITATIVE ANALYSIS METHOD FOR GAS COMPONENT CONTAINED IN HALOGEN FLUORIDE MIXED GAS, AND QUANTITATIVE ANALYZER
(FR) PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION DE FLUORURE D'HALOGÈNE, PROCÉDÉ D'ANALYSE QUANTITATIVE POUR COMPOSANT GAZEUX CONTENU DANS UN GAZ MIXTE DE FLUORURE D'HALOGÈNE, ET ANALYSEUR QUANTITATIF
(JA) ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置
要約
(EN)
[Problem] The present invention provides a method for efficiently removing a halogen fluoride which is contained in a mixed gas, and which contains bromine or iodine. The present invention also provides a quantitative analysis method which is capable of efficiently determining the quantity of impurity components such as oxygen, nitrogen, carbon dioxide and tetrafluoromethane in a halogen fluoride with high accuracy. [Solution] A method for removing a halogen fluoride which contains bromine or iodine from a mixed gas that contains the halogen fluoride by reacting the mixed gas with a removing agent; and this method is configured such that the removing agent is a chloride, bromide or iodide of potassium, sodium, magnesium, calcium or barium. A quantitative analysis method for a gas component contained in a halogen fluoride mixed gas, which is characterized by: removing a halogen fluoride from a mixed gas that contains the halogen fluoride and another gas component by reacting the mixed gas with a removing agent; additionally removing a by-product produced thereby; and subsequently determining the quantity of the residual gas by means of a gas chromatograph.
(FR)
La présente invention concerne un procédé d'élimination efficace d'un fluorure d'halogène qui est contenu dans un gaz mixte, et qui contient du brome ou de l'iode. La présente invention concerne également un procédé d'analyse quantitative qui est capable de déterminer efficacement la quantité de composants d'impuretés tels que l'oxygène, l'azote, le dioxyde de carbone et le tétrafluorométhane dans un fluorure d'halogène avec une grande précision. À cet effet, l'invention concerne un procédé d'élimination d'un fluorure d'halogène qui contient du brome ou de l'iode à partir d'un gaz mixte qui contient le fluorure d'halogène par réaction du gaz mixte avec un agent d'élimination ; et ce procédé est conçu de sorte que l'agent d'élimination soit un chlorure, un bromure ou un iodure de potassium, de sodium, de magnésium, de calcium ou de baryum. L'invention concerne un procédé d'analyse quantitative pour un composant gazeux contenu dans un gaz mixte de fluorure d'halogène, qui est caractérisé par : l'élimination d'un fluorure d'halogène à partir d'un gaz mixte qui contient le fluorure d'halogène et un autre composant gazeux par réaction du gaz mixte avec un agent d'élimination ; l'élimination supplémentaire d'un sous-produit ainsi produit ; et ultérieurement la détermination de la quantité de gaz résiduel au moyen d'un chromatographe en phase gazeuse.
(JA)
[課題]混合ガス中に含まれる臭素またはヨウ素を含むハロゲンフッ化物の効率的な除去方法を提供する。また、本発明はハロゲンフッ化物中の酸素、窒素、二酸化炭素、テトラフルオロメタンなどの不純物成分を効率的に精度よく定量できる定量分析方法を提供する。 [解決手段]臭素またはヨウ素を含むハロゲンフッ化物を含有する混合ガスと、除去剤とを反応させて、前記混合ガス中のハロゲンフッ化物を除去する方法であって、前記除去剤が、カリウム、ナトリウム、マグネシウム、カルシウムおよびバリウムの塩化物、臭化物またはヨウ化物である方法。ハロゲンフッ化物とその他のガス成分を含有する混合ガスと、除去剤とを反応させて、前記混合ガス中のハロゲンフッ化物を除去し、さらに生成した副生成物を除去したのち、残存ガスをガスクロマトグラフにより定量分析することを特徴とするハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法。
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