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1. WO2020129713 - 基板処理装置および基板処理方法

公開番号 WO/2020/129713
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047902
国際出願日 06.12.2019
IPC
H01L 21/306 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306化学的または電気的処理,例.電解エッチング
出願人
  • 株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 杉岡 真治 SUGIOKA Shinji
  • 岸田 拓也 KISHIDA Takuya
代理人
  • 吉竹 英俊 YOSHITAKE Hidetoshi
  • 有田 貴弘 ARITA Takahiro
優先権情報
2018-23565917.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理装置および基板処理方法
要約
(EN)
The present invention is provided with: an inner tank (341); an outer tank (343) which is provided on the outer periphery of the inner tank (341); a first pipe (50) which connects the inner tank (341) and the outer tank (343) to each other; a heater (52) which heats an aqueous phosphoric acid solution that passes through the first pipe (50); an opening/closing valve (513) which is provided in the first pipe (50) at a position between the heater (52)and the inner tank (341); a second pipe (60) which connects the outer tank (343) and a piping part of the first pipe (50), said piping part being positioned between the heater (52) and the inner tank (341); and an opening/closing valve (61) which is provided in the second pipe (60).
(FR)
La présente invention est pourvu : d'un réservoir intérieur (341) ; d'un réservoir extérieur (343) qui est prévu sur la périphérie extérieure du réservoir intérieur (341) ; d'un premier tuyau (50) qui relie le réservoir intérieur (341) et le réservoir extérieur (343) l'un à l'autre ; d'un dispositif de chauffage (52) qui chauffe une solution aqueuse d'acide phosphorique qui passe à travers le premier tuyau (50) ; d'une vanne d'ouverture/de fermeture (513) qui est disposée dans le premier tuyau (50) à une position entre le dispositif de chauffage (52) et le réservoir intérieur (341) ; d'un second tuyau (60) qui relie le réservoir extérieur (343) et une partie de tuyauterie du premier tuyau (50), ladite partie de tuyauterie étant positionnée entre le dispositif de chauffage (52) et le réservoir intérieur (341) ; et une vanne d'ouverture/de fermeture (61) qui est disposée dans le second tuyau (60).
(JA)
内槽(341)と、内槽(341)の外周部に設けられる外槽(343)と、内槽(341)と外槽(343)とを接続する第1配管(50)と、第1配管(50)を通過するリン酸水溶液を加熱するヒーター(52)と、第1配管(50)におけるヒーター(52)と内槽(341)との間に設けられる開閉バルブ(513)と、第1配管(50)におけるヒーター(52)と内槽(341)との間の配管部と、外槽(343)とを接続する第2配管(60)と、第2配管(60)に設けられる開閉バルブ(61)とを備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報