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1. WO2020129710 - 干渉縞解析装置、干渉縞解析方法、および距離測定装置

公開番号 WO/2020/129710
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047881
国際出願日 06.12.2019
IPC
G01B 11/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
CPC
G01B 11/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
出願人
  • アズビル株式会社 AZBIL CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 藤原 久利 FUJIWARA, Hisatoshi
  • 古谷 雅 FURUYA, Masashi
代理人
  • 山川 茂樹 YAMAKAWA, Shigeki
  • 山川 政樹 YAMAKAWA, Masaki
優先権情報
2018-23816120.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INTERFERENCE FRINGE ANALYSIS DEVICE, INTERFERENCE FRINGE ANALYSIS METHOD, AND DISTANCE MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE DE FRANGE D'INTERFÉRENCE, PROCÉDÉ D'ANALYSE DE FRANGE D'INTERFÉRENCE ET DISPOSITIF DE MESURE DE DISTANCE
(JA) 干渉縞解析装置、干渉縞解析方法、および距離測定装置
要約
(EN)
An interference fringe analysis device (12) comprises: a mixer (123) for generating a first mixed signal I by mixing an interference fringe signal indicating a light and dark pattern of interference fringes detected by a photodetector (11) and a reference signal R1 having a frequency fr; a mixer (124) for generating a second mixed signal Q by mixing the interference fringe signal with a reference signal R2 having a phase different from that of the first reference signal I by π/2; LPFs (125), (126) for selectively passing low frequency components included in the first mixed signal I and second mixed signal Q, respectively; a phase calculation unit (127) for calculating the phase of the interference fringe signal on the basis of the first mixed signal I and second mixed signal Q that have passed through the LPFs (125), (126); and an interference-fringe-frequency calculation unit (128) for calculating an interference fringe frequency f indicating the spatial frequency of the interference fringes on the basis of the phase of the interference fringe signal.
(FR)
Dispositif d'analyse de frange d'interférence (12), qui comprend : un mélangeur (123) pour générer un premier signal mixte I par mélange d'un signal de frange d'interférence indiquant un diagramme clair et sombre de franges d'interférence détectées par un photodétecteur (11) et un signal de référence R1 d'une fréquence fr ; un mélangeur (124) pour générer un second signal mixte Q par mélange du signal de frange d'interférence avec un signal de référence R2 ayant une phase différente de celle du premier signal de référence I par π/2 ; des LPF (125), (126) pour faire passer sélectivement des composantes basse fréquence comprises dans le premier signal mixte I et le second signal mixte Q, respectivement ; une unité de calcul de phase (127) pour calculer la phase du signal de frange d'interférence sur la base du premier signal mixte I et du second signal mixte Q qui ont traversé les LPF (125), (126) ; et une unité de calcul de fréquence de frange d'interférence (128) pour calculer une fréquence de frange d'interférence f indiquant la fréquence spatiale des franges d'interférence sur la base de la phase du signal de frange d'interférence.
(JA)
干渉縞解析装置(12)は、光検出器(11)で検出された干渉縞の明暗パターン示す干渉縞信号と周波数fからなるリファレンス信号R1とを混合して第1混合信号Iを生成するミキサ(123)と、干渉縞信号と、第1基準信号Iに対してπ/2の位相差を有するリファレンス信号R2とを混合して第2混合信号Qを生成するミキサ(124)と、第1混合信号Iおよび第2混合信号Qのそれぞれに含まれる低周波成分を選択的に通過させるLPF(125),(126)と、LPF(125),(126)を通過した第1混合信号Iと第2混合信号Qとに基づいて干渉縞信号の位相を算出する位相算出部(127)と、干渉縞信号の位相に基づいて干渉縞の空間周波数を示す干渉縞周波数fを算出する干渉縞周波数算出部(128)とを備える。
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