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1. WO2020129709 - 干渉縞解析装置、干渉縞解析方法、および距離測定装置

公開番号 WO/2020/129709
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047880
国際出願日 06.12.2019
IPC
G01B 11/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
出願人
  • アズビル株式会社 AZBIL CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 藤原 久利 FUJIWARA, Hisatoshi
  • 古谷 雅 FURUYA, Masashi
代理人
  • 山川 茂樹 YAMAKAWA, Shigeki
  • 山川 政樹 YAMAKAWA, Masaki
優先権情報
2018-23816020.12.2018JP
2019-11009313.06.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INTERFERENCE FRINGE ANALYSIS DEVICE, INTERFERENCE FRINGE ANALYSIS METHOD, AND DISTANCE MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE DE FRANGE D'INTERFÉRENCE, PROCÉDÉ D'ANALYSE DE FRANGE D'INTERFÉRENCE ET DISPOSITIF DE MESURE DE DISTANCE
(JA) 干渉縞解析装置、干渉縞解析方法、および距離測定装置
要約
(EN)
An interference fringe analysis device (12) comprises: a Fourier transform unit (120) for converting an interference fringe signal into a spatial-frequency-domain spectrum; a peak frequency detection unit (121) for detecting, as a standard frequency fr, the spatial frequency of the peak from among the peaks included in the spectrum that has the highest light intensity; a band-pass filter (122) for allowing the standard frequency fr to pass; an inverse Fourier transform unit (123) for converting the spectrum after the passing of the standard frequency fr into a spatial domain signal; a phase calculation unit (124) for calculating the phase of the converted spatial domain signal; and a frequency calculation unit (125) for calculating an interference fringe frequency f on the basis of the calculated phase.
(FR)
Dispositif d'analyse de frange d'interférence (12), qui comprend : une unité de transformée de Fourier (120) pour convertir un signal de frange d'interférence en un spectre dans le domaine des fréquences spatiales ; une unité de détection de fréquence de crête (121) pour détecter, en tant que fréquence standard fr, la fréquence spatiale du pic parmi les pics inclus dans le spectre qui a l'intensité lumineuse la plus élevée ; un filtre passe-bande (122) pour permettre à la fréquence standard fr de passer ; une unité de transformée de Fourier inverse (123) pour convertir le spectre après le passage de la fréquence standard fr en un signal de domaine spatial ; une unité de calcul de phase (124) pour calculer la phase du signal de domaine spatial converti ; et une unité de calcul de fréquence (125) pour calculer une fréquence de frange d'interférence f sur la base de la phase calculée.
(JA)
干渉縞解析装置(12)は、干渉縞信号を空間周波数領域のスペクトルに変換するフーリエ変換部(120)と、スペクトルに含まれるピークのうち、光強度が最大となるピークの空間周波数を基準周波数fとして検出するピーク周波数検出部(121)と、基準周波数fを透過させるバンドパスフィルタ(122)と、基準周波数fが透過されたスペクトルを空間領域の信号に変換する逆フーリエ変換部(123)と、変換された空間領域の信号の位相を算出する位相算出部(124)と、算出された位相に基づいて干渉縞周波数fを算出する周波数算出部(125)とを備える。
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