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1. WO2020129708 - 光反射素子及び空間光変調器

公開番号 WO/2020/129708
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047860
国際出願日 06.12.2019
IPC
G02B 26/08 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
B81B 3/00 2006.01
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G02B 26/10 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08光の方向を制御するためのもの
10走査系
G03B 21/00 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
B写真を撮影するためのまたは写真を投影もしくは直視するための装置または配置;光波以外の波を用いる類似技術を用いる装置または配置;そのための付属品
21映写機または投映形式のビュアー;その付属品
出願人
  • ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 SONY SEMICONDUCTOR SOLUTIONS CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 栫山 直樹 KAKOIYAMA Naoki
  • 齋藤 大輔 SAITO Daisuke
代理人
  • 山本 孝久 YAMAMOTO Takahisa
  • 吉井 正明 YOSHII Masaaki
優先権情報
2018-23961821.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LIGHT REFLECTION ELEMENT AND SPATIAL LIGHT MODULATOR
(FR) ÉLÉMENT DE RÉFLEXION DE LUMIÈRE ET MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE
(JA) 光反射素子及び空間光変調器
要約
(EN)
This light reflection element comprises: supports 21; a hinge 30; and a light reflection part 40. The light reflection part 40 comprises a support layer and a light reflection layer 50. The hinge 30 comprises a torsion bar 31, extensions 34A, 34B that extend from the lateral sides of the torsion bar 31, and movable pieces 35A, 35B that extend from the ends of the extensions 34A, 34B. The ends of the torsion bar 31 are fixed to the supports 21, the hinge 30 can be deformed in such a manner as to twist about the axis of the torsion bar 31, the support layer is fixed to the movable pieces 35A, 35B, and recesses 41D are provided at least at portions of the support layer opposite to spaces 35D positioned between the first and second movable pieces 35A, 35B.
(FR)
Élément de réflexion de lumière comprenant des supports (21) ; une charnière (30) ; et une partie (40) de réflexion de lumière. La partie (40) de réflexion de lumière comprend une couche de support et une couche (50) de réflexion de lumière. La charnière (30) comprend une barre de torsion (31), des extensions (34A, 34B) qui s'étendent depuis les côtés latéraux de la barre de torsion (31) et des pièces mobiles (35A, 35B) qui s'étendent à partir des extrémités des extensions (34A, 34B). Les extrémités de la barre de torsion (31) sont fixées aux supports (21), la charnière (30) peut être déformée de manière à se tordre autour de l'axe de la barre de torsion (31), la couche de support est fixée aux pièces mobiles (35A, 35B) et des renfoncements (41D) sont disposés au moins au niveau des parties de la couche de support opposée aux espaces (35D) positionnés entre les première et seconde pièces mobiles (35A, 35B).
(JA)
光反射素子は、支持部21、ヒンジ部30及び光反射部40から成り、光反射部40は支持層及び光反射層50から成り、ヒンジ部30は、トーションバー部31、トーションバー部31の側部から延びる延在部34A,34B、延在部34A,34Bの端部から延びる可動片35A,35Bから成り、トーションバー部31の端部は支持部21に固定されており、トーションバー部31の軸線を中心としてヒンジ部30は捩れ変形可能であり、支持層は可動片35A,35Bに固定されており、少なくとも、第1可動片35Aと第2可動片35Bとの間に位置する空間35Dと対向した支持層の部分には凹部41Dが設けられている。
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