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1. WO2020129533 - 共焦点センサ

公開番号 WO/2020/129533
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/045611
国際出願日 21.11.2019
IPC
G01B 11/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
CPC
G01B 11/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
出願人
  • オムロン株式会社 OMRON CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 森野 久康 MORINO, Hisayasu
  • ▲高▼嶋 潤 TAKASHIMA, Jun
代理人
  • 稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki
  • 大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi
優先権情報
2018-23852420.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CONFOCAL SENSOR
(FR) CAPTEUR CONFOCAL
(JA) 共焦点センサ
要約
(EN)
Provided is a confocal sensor having a wider measuring range. A confocal sensor 1 comprises: a light source 10 that emits light at a plurality of wavelengths; a diffractive lens 130 that causes a chromatic aberration with respect to the light along an optical axis and focuses the light onto an object 200 without another intervening lens; a pinhole 120 through which reflected light passes, the reflected light being a portion of the light that was focused onto and reflected from the object 200 and focused by the diffractive lens 130; and a measuring unit 40 that measures the distance from the diffractive lens 130 to the object 200 on the basis of a wavelength of the reflected light. A distance L2 from the pinhole 120 to the diffractive lens 130 is variable.
(FR)
L'invention concerne un capteur confocal présentant une plage de mesure plus large. Un capteur confocal (1) comprend : une source de lumière (10) qui émet de la lumière à une pluralité de longueurs d'onde ; une lentille diffractive (130) qui provoque une aberration chromatique par rapport à la lumière le long d'un axe optique et focalise la lumière sur un objet (200) sans autre lentille intermédiaire ; un trou d'épingle (120) à travers lequel passe la lumière réfléchie, la lumière réfléchie constituant une partie de la lumière focalisée sur l'objet (200) et réfléchie par ce dernier et focalisée par la lentille diffractive (130) ; et une unité de mesure (40) qui mesure la distance entre la lentille diffractive (130) et l'objet (200) en fonction d'une longueur d'onde de la lumière réfléchie. Une distance (L2) depuis le trou d'épingle (120) jusqu'à la lentille diffractive (130) est variable.
(JA)
測定範囲がより広い共焦点センサを提供する。共焦点センサ1は、複数の波長の光を出射する光源10と、光に対して光軸方向に沿って色収差を生じさせ、他のレンズを介さずに光を対象物200に集光する回折レンズ130と、光のうち、対象物200において合焦して反射し、回折レンズ130で集光された反射光を通過させるピンホール120と、反射光の波長に基づいて、回折レンズ130から対象物200までの距離を測定する測定部40と、を備え、ピンホール120から回折レンズ130までの距離L2は可変である。
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