処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2020129334 - 荷電粒子ビームの挙動解析プログラムおよび挙動解析装置、ならびに挙動の解析方法

公開番号 WO/2020/129334
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/035913
国際出願日 12.09.2019
IPC
H01J 37/147 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
04電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
147希望する通路に沿って放電を直進しまたは偏向するための装置
G21K 5/04 2006.01
G物理学
21核物理;核工学
K他に分類されない粒子線または電離放射線の取扱い技術;照射装置;ガンマ線またはX線顕微鏡
5照射装置
04ビーム形成手段をもつもの
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
出願人
  • 株式会社日立製作所 HITACHI, LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 宮田 健治 MIYATA, Kenji
  • 中島 裕人 NAKASHIMA, Yuto
代理人
  • 特許業務法人ウィルフォート国際特許事務所 WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM
優先権情報
2018-23530617.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM BEHAVIOR ANALYSIS PROGRAM AND BEHAVIOR ANALYSIS DEVICE, AND METHOD FOR ANALYSIS OF BEHAVIOR
(FR) PROGRAMME D'ANALYSE DE COMPORTEMENT DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET DISPOSITIF D'ANALYSE DE COMPORTEMENT, ET PROCÉDÉ D'ANALYSE DE COMPORTEMENT
(JA) 荷電粒子ビームの挙動解析プログラムおよび挙動解析装置、ならびに挙動の解析方法
要約
(EN)
An objective of the present invention is to provide a charged particle beam behavior analysis program and behavior analysis device, and method for analysis of behavior, with which a space charge can be taken into account, a result can be obtained in a short time, and numerical value noise is low. This behavior analysis program causes execution of: a procedure of splitting a charged particle beam 1 into a plurality of bins 2 in a trajectory direction; a procedure of, for each of the split bins 2, splitting a region wherein the charged particle beam 1 may be present into multiple layers 10 stacked in a radial direction, and splitting at each of the layers 10 into finite elements 20; a procedure of computing an average density distribution of the split charged particle beam 1 for each of the layers 10 of the bins 2, and carrying out a smoothing process of the computed average density distributions in the radial direction; a procedure of, using the smoothing-processed density distributions, computing an electromagnetic force which is produced by an electromagnetic field induced by the charged particle beam 1; and a procedure of accounting for the computed electromagnetic force in a beam behavior analysis and deriving beam characteristics of the charged particle beam 1.
(FR)
Un objectif de la présente invention est de fournir un programme d'analyse de comportement de faisceau de particules chargées et un dispositif d'analyse de comportement, et un procédé d'analyse de comportement, avec lequel une charge d'espace peut être prise en compte, un résultat peut être obtenu en un court laps de temps, et un bruit de valeur numérique est faible. Ce programme d'analyse de comportement provoque l'exécution de : une procédure de division d'un faisceau de particules chargées 1 en une pluralité de compartiments 2 dans une direction de trajectoire ; une procédure de, pour chacun des compartiments divisés 2, division d'une région dans laquelle le faisceau de particules chargées 1 peut être présent en de multiples couches 10 empilées dans une direction radiale, et division au niveau de chacune des couches 10 en éléments finis 20 ; une procédure de calcul d'une distribution de densité moyenne du faisceau de particules chargées divisée 1 pour chacune des couches 10 des compartiments 2, et la réalisation d'un processus de lissage des distributions de densité moyenne calculées dans la direction radiale ; une procédure de, à l'aide des distributions de densité traitées par lissage, calcul d'une force électromagnétique qui est produite par un champ électromagnétique induit par le faisceau de particules chargées 1 ; et une procédure de comptabilité de la force électromagnétique calculée dans une analyse de comportement de faisceau et de déduction des caractéristiques de faisceau du faisceau de particules chargées 1.
(JA)
空間電荷を考慮することが可能であり、短時間で結果が得られるとともに数値ノイズの少ない荷電粒子ビームの挙動解析プログラムや挙動解析装置、ならびに挙動の解析方法を提供することを目的とする。 挙動解析プログラムは、荷電粒子ビーム1を軌道方向に複数のビン2に分割する手順と、分割されたビン2の各々において、荷電粒子ビーム1が存在しえる領域を径方向に積層した多数のレイヤ10に分割するとともに、レイヤ10の各々で有限要素20に分割する手順と、ビン2のレイヤ10毎に分割された荷電粒子ビーム1の平均的な密度分布を算出し、算出した平均的な密度分布を径方向にスムージング処理する手順と、スムージング処理した密度分布を用いて荷電粒子ビーム1が誘起する電磁場による電磁力を算出する手順と、算出した電磁力をビーム挙動解析に反映させて荷電粒子ビーム1のビーム特性を求める手順と、を実行させる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報