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1. WO2020129329 - 制御装置、光学フィルタシステム、制御方法

公開番号 WO/2020/129329
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/035403
国際出願日 09.09.2019
IPC
G02B 26/00 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
G01J 3/26 2006.01
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
12スペクトルの発生;モノクロメータ
26多重反射によるもの,例.ファブリーペロー干渉計,可変干渉フィルター
G02B 5/28 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
20フィルター
28干渉フィルター
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • ザイツ ピーター SEITZ Peter
  • テイチマン ヘルムート TEICHMANN Helmut
  • 柴山 勝己 SHIBAYAMA Katsumi
  • 笠原 隆 KASAHARA Takashi
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2018-23633818.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CONTROL DEVICE, OPTICAL FILTER SYSTEM, AND CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE, SYSTÈME DE FILTRE OPTIQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE
(JA) 制御装置、光学フィルタシステム、制御方法
要約
(EN)
A control device that: has a pair of mirrors that are mutually facing across a gap and a pair of drive electrodes that are mutually facing across the gap; and controls a Fabry-Perot interference filter that changes the distance between the pair of mirrors in accordance with a charge accumulated between the pair of drive electrodes. The control device comprises: a first drive source controlled by using current as a control parameter and changing the distance between the pair of mirrors; a second drive source controlled using voltage as a control parameter and changing the distance between the pair of mirrors; and a control unit that controls the first drive source and the second drive source so as to change the distance between the pair of mirrors by using the first drive source in a first region and change the distance between the pair of mirrors by using the second drive source in at least part of the region other than the first region, when a region including the maximum voltage is the first region in the relationship between the charge stored between the pair of drive electrodes and the voltage between the pair of drive electrodes.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de commande qui : a une paire de miroirs qui sont mutuellement opposés à travers un espace et une paire d'électrodes d'entraînement qui sont mutuellement opposées à travers l'espace ; et commande un filtre d'interférence de Fabry-Pérot qui change la distance entre la paire de miroirs en fonction d'une charge accumulée entre la paire d'électrodes d'entraînement. Le dispositif de commande comprend : une première source d'entraînement commandée en utilisant un courant en tant que paramètre de commande et en changeant la distance entre la paire de miroirs ; une seconde source d'entraînement commandée en utilisant la tension en tant que paramètre de commande et en changeant la distance entre la paire de miroirs ; et une unité de commande qui commande la première source d'entraînement et la seconde source d'entraînement de façon à modifier la distance entre la paire de miroirs à l'aide de la première source d'entraînement dans une première région et à modifier la distance entre la paire de miroirs en utilisant la seconde source d'entraînement dans au moins une partie de la région autre que la première région, lorsqu'une région comprenant la tension maximale est la première région dans la relation entre la charge stockée entre la paire d'électrodes d'entraînement et la tension entre la paire d'électrodes d'entraînement.
(JA)
制御装置は、空隙を介して互いに向かい合う一対のミラー部と、当該空隙を介して互いに向かい合う一対の駆動電極と、を有し、一対の駆動電極間に蓄えられる電荷に応じて一対のミラー部間の距離が変化するファブリペロー干渉フィルタを制御する。制御装置は、電流を制御パラメータとして用いて制御され、一対のミラー部間の距離を変化させる第1駆動源と、電圧を制御パラメータとして用いて制御され、一対のミラー部間の距離を変化させる第2駆動源と、一対の駆動電極間に蓄えられる電荷と、一対の駆動電極間の電圧との関係において、電圧の最大値を含む領域を第1領域とすると、第1領域では第1駆動源により一対のミラー部間の距離が変化させられ、第1領域以外の領域の少なくとも一部では第2駆動源により一対のミラー部間の距離が変化させられるように、第1駆動源及び第2駆動源を制御する制御部と、を備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報