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1. WO2020129328 - モニタ装置、光学フィルタシステム、モニタ方法、電流発生装置

公開番号 WO/2020/129328
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/035402
国際出願日 09.09.2019
IPC
G02B 26/00 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
26可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
G01J 3/26 2006.01
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
3分光測定;分光光度測定;モノクロメータ;色の測定
12スペクトルの発生;モノクロメータ
26多重反射によるもの,例.ファブリーペロー干渉計,可変干渉フィルター
G02B 5/28 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
20フィルター
28干渉フィルター
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • デュランディ アンドレアス DURANDI Andreas
  • テイチマン ヘルムート TEICHMANN Helmut
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2018-23633718.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MONITORING DEVICE, OPTICAL FILTER SYSTEM, MONITORING METHOD, AND CURRENT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE, SYSTÈME DE FILTRE OPTIQUE, PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE COURANT
(JA) モニタ装置、光学フィルタシステム、モニタ方法、電流発生装置
要約
(EN)
This monitoring device is used together with a Fabry-Perot interference filter that includes a pair of mirror sections mutually opposing each other across a gap and a pair of driving electrodes mutually opposing each other across the gap and that is configured so that the distance between the pair of mirror sections changes in accordance with the charge stored between the pair of driving electrodes. The monitoring device is provided with: a current application unit for applying an alternating current having a frequency higher than the resonance frequency of the pair of mirror sections between the pair of driving electrodes; a voltage detection unit for detecting the change over time in voltage generated between the pair of driving electrodes during the application of the alternating current; a control unit for controlling the alternating current applied between the pair of driving electrode by the current application unit on the basis of an evaluation of the DC component of voltage detected by the voltage detection unit; and a monitoring unit for monitoring the distance between the pair of mirror sections on the basis of the AC component of voltage detected by the voltage detection unit.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de surveillance utilisé conjointement avec un filtre d'interférence de Fabry-Perot qui comprend une paire de sections de miroir mutuellement opposées à travers un espace et une paire d'électrodes d'entraînement mutuellement opposées l'une à l'autre à travers l'espace et qui est configurée de telle sorte que la distance entre la paire de sections de miroir change en fonction de la charge stockée entre la paire d'électrodes d'entraînement. Le dispositif de surveillance comprend : une unité d'application de courant pour appliquer un courant alternatif ayant une fréquence supérieure à la fréquence de résonance de la paire de sections de miroir entre la paire d'électrodes de commande ; une unité de détection de tension pour détecter le changement dans le temps de la tension générée entre la paire d'électrodes d'attaque pendant l'application du courant alternatif ; une unité de commande pour commander le courant alternatif appliqué entre la paire d'électrodes de commande par l'unité d'application de courant sur la base d'une évaluation de la composante continue de tension détectée par l'unité de détection de tension ; et une unité de surveillance pour surveiller la distance entre la paire de sections de miroir sur la base de la composante CA de la tension détectée par l'unité de détection de tension.
(JA)
モニタ装置は、空隙を介して互いに向かい合う一対のミラー部と、当該空隙を介して互いに向かい合う一対の駆動電極と、を有し、一対の駆動電極間に蓄えられる電荷に応じて一対のミラー部間の距離が変化するファブリペロー干渉フィルタと共に用いられる。モニタ装置は、一対のミラー部の共振周波数よりも高い周波数を有する交流電流を一対の駆動電極間に印加する電流印加部と、交流電流の印加中に一対の駆動電極間に発生する電圧の時間推移を検出する電圧検出部と、電圧検出部により検出された電圧の直流成分の評価に基づいて、電流印加部が一対の駆動電極間に印加する交流電流を制御する制御部と、電圧検出部により検出された電圧の交流成分に基づいて一対のミラー部間の距離をモニタするモニタ部と、を備える。
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