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1. WO2020129245 - 走査型プローブ顕微鏡

公開番号 WO/2020/129245
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/047304
国際出願日 21.12.2018
IPC
G01Q 10/02 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
10走査または位置決め装置,すなわち,プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置
02粗動走査または粗動位置決め
G01Q 10/04 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
10走査または位置決め装置,すなわち,プローブの動きあるいは位置を積極的に制御するための装置
04微動走査または微動位置決め
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 平出 雅人 HIRADE, Masato
代理人
  • 特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡
要約
(EN)
This scanning probe microscope comprises a cantilever (2) having a probe (20) on the distal end thereof, a sample stage (11) upon which a sample (S) to be measured is placed, a piezo-scanner (13) for moving the sample stage (11) in the horizontal direction, a drive unit (19) for moving the sample stage (11) in the horizontal direction by applying a voltage to the piezo-scanner (13) so as to bend same, and a guide member (17) that is provided between the upper surface of the piezo-scanner (13) and the sample stage (11) and guides the horizontal-direction movement of the sample stage (11). The drive unit (19) changes the voltage more rapidly in a second mode than in a first mode.
(FR)
L'invention concerne un microscope-sonde à balayage comprend un porte-à-faux (2) ayant une sonde (20) sur son extrémité distale, une platine d'échantillon (11) sur laquelle un échantillon (S) à mesurer est placé, un élément de balayage piézoélectrique (13) pour déplacer la platine d'échantillon (11) dans la direction horizontale, une unité d'entraînement (19) pour déplacer la platine d'échantillon (11) dans la direction horizontale par l'application d'une tension sur l'élément de balayage piézoélectrique (13) de façon à courber celui-ci, et un élément de guidage (17) qui est disposé entre la surface supérieure de l'élément de balayage piézoélectrique (13) et la platine d'échantillon (11) et guide le mouvement dans la direction horizontale de la platine d'échantillon (11). L'unité d'entraînement (19) change la tension plus rapidement dans un second mode que dans un premier mode.
(JA)
走査型プローブ顕微鏡は、先端部に探針(20)を有するカンチレバー(2)と、測定対象の試料(S)が載置される試料台(11)と、試料台(11)を水平方向に移動させるためのピエゾスキャナ(13)と、ピエゾスキャナ(13)に電圧を印加してピエゾスキャナ(13)を屈曲させることによって、試料台(11)を水平方向に移動させる駆動部(19)と、ピエゾスキャナ(13)の上面と、試料台(11)との間に設けられ、試料台(11)の水平方向の移動をガイドするガイド部材(17)とを備える。駆動部(19)は、第2のモードにおいて、第1のモードよりも電圧を急激に変動させる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報