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1. WO2020129164 - 撮像装置

公開番号 WO/2020/129164
公開日 25.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/046636
国際出願日 18.12.2018
IPC
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01J 37/28 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28走査ビームを有するもの
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 矢野 真麻 YANO Maasa
  • 千葉 寛幸 CHIBA Hiroyuki
代理人
  • 特許業務法人平木国際特許事務所 HIRAKI & ASSOCIATES
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) IMAGING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'IMAGERIE
(JA) 撮像装置
要約
(EN)
An objective of the present invention is to correct deviations in position or angle among observation regions with good precision in an imaging device which acquires an image of a plurality of specimen sections. An imaging device according to the present invention: uses a feature point on a first image to identify a correspondence of observation regions among specimen sections; uses a second image of a smaller region than the first image to correct a deviation among the specimen sections; and acquires a third image which has a higher resolution than the second image with the result of the correction incorporated therein.
(FR)
La présente invention vise à corriger des écarts de position ou d'angle entre des régions d'observation avec une bonne précision dans un dispositif d'imagerie qui acquiert une image d'une pluralité de sections d'échantillon. À cet effet, la présente invention concerne un dispositif d'imagerie qui : utilise un point caractéristique sur une première image pour identifier une correspondance de régions d'observation parmi des sections d'échantillon; utilise une deuxième image d'une région plus petite que la première image pour corriger un écart entre les sections d'échantillon; et acquiert une troisième image qui a une résolution plus élevée que la deuxième image avec le résultat de la correction incorporé dans celle-ci.
(JA)
本発明は、複数の試料切片の画像を取得する撮像装置において、各観察領域間の位置や角度のずれを精度よく補正することを目的とするものである。本発明に係る撮像装置は、第1画像上の特徴点を用いて試料切片間の観察領域の対応関係を特定し、前記第1画像よりも狭い範囲の第2画像を用いて試料切片間のずれを補正し、補正結果を反映した上で、前記第2画像よりも解像度が高い第3画像を取得する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報