処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2020122261 - 基板収納容器

公開番号 WO/2020/122261
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2020/014929
国際出願日 31.03.2020
IPC
H01L 21/673 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673特に適合するキャリアを使用するもの
出願人
  • ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 松鳥 千明 MATSUTORI Chiaki
代理人
  • 正林 真之 SHOBAYASHI Masayuki
  • 林 一好 HAYASHI Kazuyoshi
  • 岩池 満 IWAIKE Mitsuru
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE-ACCOMMODATING CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約
(EN)
A substrate-accommodating container 1 comprises: a container body 2 that has tubular walls that have an open peripheral section at one end in which a container body opening is formed, and are closed at the other end, wherein a substrate-accommodating space, which is capable of accommodating substrates and communicates with the container body opening, is formed by the inner surfaces of the wall; a lid body 3; and a seal member 4. The walls 20 of the container body 2 are provided with a central fastening member 6 that can be attached to and removed from the walls 20 of the container body, said central fastening member 6 being fastened as a result of engaging with a position-aligning part provided to a load port for transferring a substrate accommodated in the substrate-accommodating space to a processing device.
(FR)
Un récipient de réception de substrat 1 comprend : un corps de récipient 2 qui a des parois tubulaires qui ont une section périphérique ouverte à une extrémité dans laquelle une ouverture de corps de récipient est formée, et qui sont fermées à l'autre extrémité, un espace de réception de substrat, qui est capable de recevoir des substrats et qui communique avec l'ouverture de corps de récipient, est formé par les surfaces internes de la paroi; un corps de couvercle 3; et un élément d'étanchéité 4. Les parois 20 du corps de récipient 2 sont pourvues d'un élément de fixation central 6 qui peut être fixé à et retiré des parois 20 du corps de récipient, ledit élément de fixation central 6 étant fixé suite à la mise en prise avec une partie d'alignement de position disposée sur un port de charge pour transférer un substrat reçu dans l'espace de réception de substrat à un dispositif de traitement.
(JA)
一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、壁部の内面によって、基板を収納可能であり容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体2と、蓋体3と、シール部材4と、を備え、 容器本体2の壁部20には、基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた位置合わせ部に係止されて固定される中央被固定部材6が容器本体2の壁部20に対して着脱可能に設けられている基板収納容器1である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報