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1. WO2020122133 - 基板搬送装置

公開番号 WO/2020/122133
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/048527
国際出願日 11.12.2019
IPC
B25J 5/02 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
5車または搬送体に設置されているマニプレータ
02ガイドウェイに沿って走行するもの
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人
  • 平田機工株式会社 HIRATA CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 開田 準一 HIRAKIDA Jyunichi
代理人
  • 棚井 澄雄 TANAI Sumio
  • 鈴木 慎吾 SUZUKI Shingo
  • 酒井 太一 SAKAI Taichi
  • 山口 洋 YAMAGUCHI Yoh
優先権情報
2018-23164311.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置
要約
(EN)
Provided is a substrate transport device that has a compact configuration and achieves high substrate processing throughput. This substrate transport device comprises a substrate transport module and an air transport robot that is provided inside the substrate transport module and has a robot base part that can travel on the substrate transport module. The substrate transport device also comprises a substrate aligner that is provided to an upper part of the robot base part and has at least two substrate mounting stands that perform substrate alignment.
(FR)
L'invention fournit un dispositif de transport de substrat qui présente une configuration compacte, et un débit de traitement de substrat élevé. Ce dispositif de transport de substrat est équipé d'un module de transport de substrat, et d'un robot de transport atmosphérique qui est agencé à l'intérieur de ce module de transport de substrat. Ledit robot de transport atmosphérique possède une base de robot progressant librement vers ledit module de transport de substrat. Ledit dispositif de transport de substrat est également équipé d'un mécanisme d'alignement de substrat qui est agencé sur une partie supérieure de ladite base de robot, et qui possède au moins deux socles de placement de substrat effectuant un positionnement dans la direction du substrat.
(JA)
装置構成がコンパクトで、かつ、基板処理のスループットが高い基板搬送装置を提供する。その基板搬送装置は、基板搬送モジュールと、該基板搬送モジュールの内部に設けられる大気搬送ロボットとを備え、前記大気搬送ロボットは前記基板搬送モジュールに対して走行自在なロボット基部を有する。前記基板搬送装置は、前記ロボット基部の上部に設けられ、基板の向きの位置合わせを行う少なくとも2つの基板載置台を有する基板アライナを更に備えている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報