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1. WO2020122125 - ロードロックチャンバ

公開番号 WO/2020/122125
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/048501
国際出願日 11.12.2019
IPC
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人
  • 平田機工株式会社 HIRATA CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 開田 準一 HIRAKIDA Jyunichi
代理人
  • 棚井 澄雄 TANAI Sumio
  • 鈴木 慎吾 SUZUKI Shingo
  • 酒井 太一 SAKAI Taichi
  • 山口 洋 YAMAGUCHI Yoh
優先権情報
2018-23164511.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LOAD LOCK CHAMBER
(FR) CHAMBRE DE VERROUILLAGE DE CHARGE
(JA) ロードロックチャンバ
要約
(EN)
Provided is a load lock chamber for which a low number of gate valve operations is sufficient, and that has a low dust generation amount. That load lock chamber comprises: a housing that has an opening through which a substrate is carried in and out; a gate valve mechanism that can seal the opening airtight; a multi-stage substrate placement unit that is provided inside the housing, on which the substrate is placed; an elevation mechanism that raises and lowers the substrate placement unit; and a rotating mechanism that rotates the multi-stage substrate placement unit around a vertical axis.
(FR)
L'invention fournit une chambre de verrouillage de charge dans laquelle la fréquence d'opération d'un robinet-vanne est réduite, et qui présente une faible quantité de poussière générée. Cette chambre de verrouillage de charge est équipée : d'un boîtier qui possède une partie ouverture par laquelle un substrat est introduit et retiré ; d'un mécanisme de robinet-vanne permettant de sceller de manière hermétique ladite partie ouverture ; d'une partie placement de substrat qui est agencée dans une partie interne dudit boîtier et sur laquelle est placé ledit substrat ; d'un mécanisme d'élévation/abaissement qui élève et abaisse ladite partie placement de substrat ; et d'un mécanisme de rotation qui met en rotation ladite partie placement de substrat à plusieurs niveaux autour d'un axe vertical.
(JA)
ゲートバルブの作動回数が少なくて済み、発塵量の少ないロードロックチャンバを提供する。そのロードロックチャンバは、基板が搬入出される開口部を有する筐体と、前記開口部を気密に封止可能なゲートバルブ機構と、前記筐体の内部に設けられ、前記基板が載置される多段の基板載置部と、前記基板載置部を昇降させる昇降機構と、多段の前記基板載置部を、鉛直軸回りに回動させる回動機構とを備えている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報