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1. WO2020121977 - 検査システム、及び検査用の画像取得方法

公開番号 WO/2020/121977
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047904
国際出願日 06.12.2019
IPC
G01N 21/84 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
G02B 21/36 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
21顕微鏡
36写真撮影用または投影用に構成されたもの
出願人
  • パナソニックIPマネジメント株式会社 PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 生嶋 君弥 IKUSHIMA, Kimiya
  • 田中 隆 TANAKA, Takashi
  • 佐々木 健二 SASAKI, Kenji
  • 花嶋 正人 HANASHIMA, Masato
  • 一川 拓人 ICHIKAWA, Takuto
代理人
  • 特許業務法人北斗特許事務所 HOKUTO PATENT ATTORNEYS OFFICE
優先権情報
2018-23391313.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION SYSTEM, AND METHOD FOR ACQURING IMAGE FOR INSPECTION
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'ACQUISITION D'UNE IMAGE À INSPECTER
(JA) 検査システム、及び検査用の画像取得方法
要約
(EN)
The present disclosure aims to improve inspection efficiency. An inspection system (10) according to the present disclosure comprises an inspection camera (1), a detection camera (2), a stage (3), and an adjustment mechanism (4). The inspection camera (1) comprises a camera having an image-capturing element in which a plurality of photodetectors are arranged two-dimensionally, and the inspection camera (1) captures an image of an area for inspection including at least a portion of subject (100) to be inspected. The detection camera (2) comprises a camera having an image-capturing element in which a plurality of photodetectors arranged two-dimensionally, and the detection camera (2) captures an image of a detection area that includes and is wider than the inspection area. The subject (100) to be inspected is carried by the stage (3). The adjustment mechanism (4) adjusts the relative position between the stage (3) and the inspection camera (1) on the basis of an image of the detection area image-captured by the detection camera (2).
(FR)
La présente invention vise à améliorer l'efficacité d'inspection. Un système d'inspection (10) selon la présente invention comprend une caméra d'inspection (1), une caméra de détection (2), un plateau (3) et un mécanisme de réglage (4). La caméra d'inspection (1) comprend une caméra comportant un élément de capture d'image dans lequel une pluralité de photodétecteurs sont agencés en deux dimensions. De plus, la caméra d'inspection (1) capture une image d'une zone à inspecter comprenant au moins une partie du sujet (100) à inspecter. La caméra de détection (2) comprend une caméra comportant un élément de capture d'image dans lequel une pluralité de photodétecteurs sont agencés en deux dimensions. De plus, la caméra de détection (2) capture une image d'une zone de détection qui comprend et est plus large que la zone d'inspection. Le sujet (100) à inspecter est transporté par le plateau (3). Le mécanisme de réglage (4) règle la position relative entre le plateau (3) et la caméra d'inspection (1) sur la base d'une image de la zone de détection capturée par la caméra de détection (2).
(JA)
本開示の課題は、検査効率を向上させることである。本開示に係る検査システム(10)は、検査用カメラ(1)と、検出用カメラ(2)と、ステージ(3)と、調整機構(4)と、を備える。検査用カメラ(1)は、複数の受光素子が二次元に配列されている撮像素子を有するカメラからなり、検査対象(100)の少なくとも一部を含む検査領域を撮像する。検出用カメラ(2)は、複数の受光素子が二次元に配列されている撮像素子を有するカメラからなり、検査領域を含み、かつ検査領域よりも広い検出領域を撮像する。ステージ(3)は、検査対象(100)が載せられる。調整機構(4)は、検出用カメラ(2)にて撮像された検出領域の画像に基づいて、ステージ(3)と検査用カメラ(1)との相対位置を調整する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報