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1. WO2020121918 - X線分析装置、X線分析システム、分析方法、及びプログラム

公開番号 WO/2020/121918
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047478
国際出願日 04.12.2019
IPC
G01N 23/223 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
23グループG01N3/00~G01N17/00,G01N21/00またはG01N22/00に包含されない波動性または粒子性放射線,例.X線,中性子線,の使用による材料の調査または分析
22材料からの二次放射の測定によるもの
223X線またはガンマ線を試料に照射して蛍光X線を測定するもの
出願人
  • 株式会社堀場製作所 HORIBA, LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 青山 朋樹 AOYAMA, Tomoki
  • 馬場 朋広 BAMBA, Tomohiro
代理人
  • 渡辺 尚 WATANABE, Hisashi
  • 小野 由己男 ONO, Yukio
優先権情報
2018-23489514.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) X-RAY ANALYSIS DEVICE, X-RAY ANALYSIS SYSTEM, ANALYSIS METHOD, AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE À RAYONS X, SYSTÈME D'ANALYSE À RAYONS X, PROCÉDÉ D'ANALYSE ET PROGRAMME
(JA) X線分析装置、X線分析システム、分析方法、及びプログラム
要約
(EN)
The present invention executes component determination in consideration of various influences included in a fluorescence X-ray spectrum. This X-ray analysis device (100) is provided with a measurement device (1) and an analysis device (5). The measurement device (1) measures a fluorescence X ray spectrum generated from a sample (S) to be measured. The analysis unit (5) analyzes the sample (S) from which a second fluorescence X-ray spectrum is generated on the basis of second result information obtained by inputting a second parameter about the measured second fluorescence X-ray spectrum to a training model that has been trained by using teacher data including a first parameter about the first fluorescence X-ray spectrum and first result information about an analysis result when the first parameter is used.
(FR)
La présente invention exécute une détermination de composant en tenant compte de diverses Influences incluses dans un spectre de rayons X de fluorescence. Le dispositif d'analyse à rayons X (100) selon l'invention est pourvu d'un dispositif de mesure (1) et d'un dispositif d'analyse (5). Le dispositif de mesure (1) mesure un spectre de rayons X de fluorescence généré à partir d'un échantillon (S) à mesurer. L'unité d'analyse (5) analyse l'échantillon (S) à partir duquel un second spectre de rayons X de fluorescence est généré sur la base de secondes informations de résultat obtenues par entrée d'un second paramètre concernant le second spectre de rayons X de fluorescence mesuré dans un modèle d'apprentissage qui a été formé au moyen de données d'apprentissage comprenant un premier paramètre concernant le premier spectre de rayons X de fluorescence et des premières informations de résultat concernant un résultat d'analyse lorsque le premier paramètre est utilisé.
(JA)
蛍光X線スペクトルに含まれる種々の影響を考慮した定性を実行する。X線分析装置(100)は、測定装置(1)と、分析部(5)と、を備える。測定装置(1)は、測定対象である試料(S)から発生する蛍光X線スペクトルを測定する。分析部(5)は、第1蛍光X線スペクトルに関する第1パラメータと、第1パラメータを用いたときの分析結果に関する第1結果情報とを含む教師データを用いて学習させた学習モデルに、測定した第2蛍光X線スペクトルに関する第2パラメータを入力して得られる第2結果情報に基づいて、第2蛍光X線スペクトルを発生させた試料(S)の分析をする。
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