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1. WO2020121898 - 流路付きプレート

公開番号 WO/2020/121898
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047274
国際出願日 03.12.2019
IPC
H01L 21/683 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683支持または把持のためのもの
出願人
  • 日本発條株式会社 NHK SPRING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 荒木 良仁 ARAKI, Yoshihito
  • 諸田 修平 MOROTA, Shuhei
  • 花待 年彦 HANAMACHI,Toshihiko
  • 横山 響 YOKOYAMA, Hibiki
代理人
  • 特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE
優先権情報
2018-23492914.12.2018JP
2019-18414604.10.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) - PLATE WITH FLOW PASSAGE
(FR) PLAQUE À PASSAGE D'ÉCOULEMENT
(JA) 流路付きプレート
要約
(EN)
This plate with a flow passage is provided with a main body section having a flow passage formed therein for circulating an inert gas, and a cover for covering the formation surface of the flow passage of the main body section, wherein: the flow passage of the main body section is provided with an embedded member embedded in an opening of the flow passage; the embedded member has an embedded section fixed to the flow passage and a circulating section held on the embedded section and circulating the inert gas from the inside to the outside of the main body section; the circulating section is provided with a plurality of through-holes; the embedded member and the flow passage are fixed by an insulating adhesive; and the ratio of the diameter forming the outer periphery of the embedded section to the diameter of the minimum circle among the circles including all of the through-holes is at least 1.2.
(FR)
L'invention porte sur une plaque à passage d'écoulement qui comprend une section de corps principal dans laquelle est formé un passage d'écoulement pour faire circuler un gaz inerte, et un couvercle destiné à recouvrir la surface de formation du passage d'écoulement de la section de corps principal. Le passage d'écoulement de la section de corps principal est pourvu d'un élément intégré incorporé dans une ouverture du passage d'écoulement. L'élément intégré comporte une section intégrée fixée au passage d'écoulement et une section de circulation maintenue sur la section intégrée et faisant circuler le gaz inerte depuis l'intérieur vers l'extérieur de la section de corps principal. La section de circulation est pourvue d'une pluralité de trous traversants. L'élément intégré et le passage d'écoulement sont fixés par un adhésif isolant. Le rapport du diamètre formant la périphérie extérieure de la section intégrée au diamètre du cercle minimal parmi les cercles comprenant tous les trous traversants est d'au moins 1,2.
(JA)
本発明にかかる流路付きプレートは、不活性ガスを流通させる流路が形成される本体部と、本体部の流路の形成面を覆うカバーと、を備え、本体部の流路には、該流路の開口に埋設される埋設部材が設けられ、埋設部材は、流路に固定される埋設部と、埋設部に保持され、本体部の内部から外部に不活性ガスを流通させる流通部と、を有し、流通部には、複数の貫通孔が設けられ、埋設部材と流路とは、絶縁性の接着剤によって固定され、すべての貫通孔を含む円のうち最小の円の径に対する、埋設部の外周のなす径の比が、1.2以上である。
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