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1. WO2020121897 - 監視装置、監視方法及び基板処理装置

公開番号 WO/2020/121897
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047258
国際出願日 03.12.2019
IPC
G08B 21/24 2006.01
G物理学
08信号
B信号または呼出し装置;指令発信装置;警報装置
21単一の特定された好ましくない,または異常な状態に応答する警報であって,他に分類されないもの
18状態警報
24注意喚起する警報,例.遺失注意警報
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 山口 恭満 YAMAGUCHI, Kiyomitsu
  • 赤田 光 AKADA, Hikaru
  • 松岡 悠一郎 MATSUOKA, Yuichiro
代理人
  • 金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo
  • 萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi
  • 扇田 尚紀 OGITA, Naoki
  • 三根 卓也 MINE, Takuya
優先権情報
2018-23361213.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MONITORING DEVICE, MONITORING METHOD, AND SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE, PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 監視装置、監視方法及び基板処理装置
要約
(EN)
Provided is a monitoring device which monitors a floor comprising gratings within a clean room. Communication units are attached to each of the gratings and carry out communications for detecting the positions of the gratings. The monitoring device comprises: a determination unit which, on the basis of the result of the detection of the present positions of the gratings using the result of the communications with the communication units and of information relating to the positions of the gratings in a normal state where no aperture parts that are the result of the gratings being removed are present, carries out a determination of the presence of the aperture parts; and an output unit which carries out an output according to the result of the determination of the presence of the aperture parts by the determination unit.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de surveillance qui surveille un sol comprenant des grilles à l'intérieur d'une salle blanche. Des unités de communication sont fixées à chacune des grilles et réalisent des communications pour détecter les positions des grilles. Le dispositif de surveillance comprend : une unité de détermination qui, sur la base du résultat de la détection des positions actuelles des grilles à l'aide du résultat des communications avec les unités de communication et des informations concernant les positions des grilles dans un état normal lorsqu’il n’y a pas de parties d’ouverture présentes résultant du retrait des grilles, réalise une détermination de la présence des parties d'ouverture ; et une unité de sortie qui réalise une sortie en fonction du résultat de la détermination de la présence des parties d'ouverture par l'unité de détermination.
(JA)
クリーンルーム内のグレーチングにより構成される床を監視する監視装置であって、グレーチングのそれぞれには、当該グレーチングの位置を検出するための通信を行う通信部が取り付けられており、当該監視装置は、前記通信部との通信結果を用いた現在のグレーチングの位置の検出結果と、グレーチングが取り外されて生じる開口部が存在しない正常状態のグレーチングの位置に関する情報と、に基づいて、前記開口部の有無の判定を行う判定部と、前記判定部での前記開口部の有無の判定結果に応じて出力を行う出力部と、を有する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報