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1. WO2020121893 - 構造体の製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法

公開番号 WO/2020/121893
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047217
国際出願日 03.12.2019
IPC
G03F 7/004 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004感光材料
G02B 5/20 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
20フィルター
H01L 27/146 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
271つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
144輻射線によって制御される装置
146固体撮像装置構造
出願人
  • 富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 吉林 光司 YOSHIBAYASHI Mitsuji
代理人
  • 特許業務法人特許事務所サイクス SIKs & Co.
優先権情報
2018-23264512.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURE BODY, METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER, METHOD FOR MANUFACTURING SOLID-STATE IMAGING ELEMENT, AND METHOD FOR MANUFACTURING IMAGE DISPLAY DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CORPS DE STRUCTURE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILTRE DE COULEUR, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT D'IMAGERIE À SEMI-CONDUCTEURS, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE D'IMAGE
(JA) 構造体の製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法
要約
(EN)
The present invention provides a method for manufacturing a structure body, the method including: a step for applying a coloring photosensitive composition on a support body to which a plurality of regions are provided, the regions being demarcated by partition walls, and for forming a coloring photosensitive composition layer on the support body including inside the regions demarcated by the partition walls; a step for exposing, in a pattern shape, the coloring photosensitive composition layer formed on the support body, through a mask having openings that allow simultaneous exposure of the coloring photosensitive composition layer formed in adjacent regions; and a step for developing and removing the coloring photosensitive composition layer in unexposed sections, also developing and removing a part of the coloring photosensitive composition layer in the exposed sections so that at least a part of the surface of the partition walls is exposed, forming pixels in the regions demarcated by the partition walls, and forming, in a pattern shape, pixel regions which are configured from a plurality of pixels of the same color and in which at least a portion of the surface of the partition walls between pixels is exposed through the pixels. The present invention also provides methods for manufacturing a color filter, a solid state imaging element, and an image display device, the methods including the method for manufacturing the structure body.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un corps de structure, le procédé comprenant : une étape consistant à appliquer une composition photosensible colorante sur un corps de support sur lequel une pluralité de régions sont prévues, les régions étant délimitées par des parois de séparation, et consistant à former une couche de composition photosensible colorante sur le corps de support, y compris à l'intérieur des régions délimitées par les parois de séparation ; une étape consistant à exposer dans une forme de motif la couche de composition photosensible colorante formée sur le corps de support, et ce à travers un masque ayant des ouvertures qui permettent une exposition simultanée de la couche de composition photosensible colorante formée dans des régions adjacentes ; et une étape consistant à développer et à retirer la couche de composition photosensible colorante dans des sections non exposées, à développer et à retirer une partie de la couche de composition photosensible colorante dans les sections exposées de sorte qu'au moins une partie de la surface des parois de séparation soit exposée, à former des pixels dans les régions délimitées par les parois de séparation, et à former dans une forme de motif des régions de pixels qui sont configurées à partir d'une pluralité de pixels de la même couleur et dans lesquelles au moins une partie de la surface des parois de séparation entre les pixels est exposée à travers les pixels. La présente invention concerne également des procédés de fabrication d'un filtre coloré, d'un élément d'imagerie à semi-conducteurs et d'un dispositif d'affichage d'image, les procédés comprenant le procédé de fabrication du corps de structure.
(JA)
隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に着色感光性組成物を塗布して隔壁で区画された領域内を含む支持体上に着色感光性組成物層を形成する工程と、隣接する領域内に形成された着色感光性組成物層を同時に露光できる開口部を有するマスクを介して支持体上に形成された着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部の着色感光性組成物層を現像除去すると共に、隔壁の表面の少なくとも一部が露出するように露光部の着色感光性組成物層の一部も現像除去して隔壁で区画された領域内に画素を形成し、同一色の複数の画素で構成され、かつ、画素同士の間の隔壁の表面の少なくとも一部が画素から露出した画素領域をパターン状に形成する工程と、を含む構造体の製造方法。この構造体の製造方法を含むカラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置の製造方法。
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