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1. WO2020121855 - 決定方法、及び光検出装置

公開番号 WO/2020/121855
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/046901
国際出願日 29.11.2019
IPC
G01J 1/42 2006.01
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
1測光,例.写真の露出計
42電気的な放射線検出器によるもの
G01J 1/44 2006.01
G物理学
01測定;試験
J赤外線,可視光線または紫外線の強度,速度,スペクトル,偏光,位相またはパルスの測定;色の測定;放射温度測定
1測光,例.写真の露出計
42電気的な放射線検出器によるもの
44電気回路
H01L 31/107 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
08輻射線が装置内を流れる電流を制御するもの,例.光―抵抗器(フォト―レジスター)
10少なくとも1つの電位障壁または表面障壁に特徴のあるもの,例.フォトトランジスタ
101赤外線,可視光線または紫外線の放射に感応する装置
102唯一の電位障壁または表面障壁に特徴のあるもの
107電位障壁がアバランシェモードで作用するもの,例.アバランシェフォトダイオード
出願人
  • 浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 園部 弘典 SONOBE Hironori
代理人
  • 長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki
  • 黒木 義樹 KUROKI Yoshiki
  • 柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi
優先権情報
2018-23289212.12.2018JP
2018-23289512.12.2018JP
2019-17594126.09.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DETERMINATION METHOD AND LIGHT DETECTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION ET DISPOSITIF DE DÉTECTION DE LUMIÈRE
(JA) 決定方法、及び光検出装置
要約
(EN)
This determination method determines the differential voltage of the breakdown voltage of an APD and the bias voltage applied to the APD. A temperature compensation unit performs temperature compensation for the gain of the APD by controlling the bias voltage on the basis of the differential voltage. In the determination method, the bias voltage is represented by "Vr", and the gain of the APD to which the bias voltage is applied is represented by "M". The slope and the intercept of the regression line obtained by setting the expression "(1/M)×(dM/dVr)" in the data expressing the correlation between the bias voltage and the gain as the response variable and setting the value "M" in said data as the explanatory value are obtained. The value "ΔV", which is calculated by substituting the slope for "a" in formula (1) below, substituting the intercept for "b" in formula (1) below and substituting the gain set in the avalanche photodiode in the light detection device for "Md" in formula(1) below, is determined to be the differential voltage.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de détermination qui détermine la différence de tension entre la tension de claquage d'une APD et la tension de polarisation appliquée à l'APD. Une unité de compensation de température effectue une compensation de température pour le gain de l'APD en régulant de la tension de polarisation sur la base de la différence de tension. Dans le procédé de détermination, la tension de polarisation est représentée par "Vr", et le gain de l'APD auquel la tension de polarisation est appliquée est représenté par "M". La pente et l'ordonnée à l'origine de la droite de régression obtenue en plaçant l'expression "(1/M)×(dM/dVr)" dans les données exprimant la corrélation entre la tension de polarisation et le gain en tant que variable de réponse et en plaçant la valeur "M" dans lesdites données en tant que valeur explicative sont obtenues. La valeur "ΔV", qui est calculée en remplaçant la pente par "a" dans la formule (1) ci-dessous, en remplaçant l'ordonnée à l'origine par "b" dans la formule (1) ci-dessous et en remplaçant le gain défini dans la photodiode à avalanche dans le dispositif de détection de lumière par "Md" dans la formule (1) ci-dessous, est déterminée comme étant la différence de tension.
(JA)
決定方法は、APDのブレークダウン電圧とAPDに印加するバイアス電圧との差分電圧を決定する。温度補償部は、当該差分電圧に基づいてバイアス電圧を制御することでAPDのゲインの温度補償を行う。この決定方法では、バイアス電圧が"V"とされ、当該バイアス電圧が印加されたAPDのゲインが"M"とされる。バイアス電圧とゲインとの相関を示すデータにおける"(1/M)×(dM/dV)"を目的変数とし"M"を説明変数とした回帰直線の傾き及び切片が取得される。上記傾きを下記式(1)の"a"に、上記切片を下記式(1)の"b"に、光検出装置においてアバランシェフォトダイオードに設定するゲインを下記式(1)の"M"に、代入することで演算された"ΔV"が、上記差分電圧として決定される。
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