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1. WO2020121826 - 解析装置及び画像生成方法

公開番号 WO/2020/121826
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/046568
国際出願日 28.11.2019
IPC
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
G01R 31/28 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 内田 伸 UCHIDA, Shin
代理人
  • 金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo
  • 萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi
  • 扇田 尚紀 OGITA, Naoki
  • 三根 卓也 MINE, Takuya
優先権情報
2018-23167011.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ANALYSIS DEVICE AND IMAGE GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE D'IMAGES ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'IMAGES
(JA) 解析装置及び画像生成方法
要約
(EN)
The present invention provides an analysis device for analyzing the state of inspection of an inspection object, wherein: the inspection object has a plurality of inspection object devices formed thereon; the inspection is performed using a probe card having formed thereon a plurality of probes that come into contact with the inspection object devices; the analysis device has a display unit for displaying an image and an image generation unit for generating an image to be displayed on the display unit; and the image generation unit generates, on the basis of the result of detecting the heights of the probes in a plurality of portions of the probe card and/or the heights of the inspection object devices in a plurality of portions of the inspection object, a height map image showing the distribution of heights of the probes and/or the inspection object devices.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif d'analyse servant à analyser l'état de contrôle d'un objet de contrôle, une pluralité de dispositifs objet de contrôle étant formée sur l'objet de contrôle; le contrôle est effectué à l'aide d'une carte sonde sur laquelle est formée une pluralité de sondes qui entrent en contact avec les dispositifs objet de contrôle; le dispositif d'analyse est muni d'une unité d'affichage permettant d'afficher une image et d'une unité de génération d'images permettant de générer une image à afficher sur l'unité d'affichage; et l'unité de génération d'images génère, sur la base du résultat de la détection des hauteurs des sondes dans une pluralité de parties de la carte sonde et/ou des hauteurs des dispositifs d'objet de contrôle dans une pluralité de parties de l'objet de contrôle, une image de carte de hauteurs montrant la distribution des hauteurs des sondes et/ou des dispositifs objet de contrôle..  
(JA)
検査対象体の検査の状態を解析するための解析装置であって、前記検査対象体は検査対象デバイスが複数形成され、前記検査は、前記検査対象デバイスに接触するプローブが複数形成されたプローブカードを用いて行われ、前記解析装置は、画像を表示する表示部と、前記表示部に表示する画像を生成する画像生成部と、を有し、前記画像生成部は、前記プローブカードの複数部分における前記プローブの高さ及び前記検査対象体の複数部分における前記検査対象デバイスの高さの少なくともいずれか一方の検出結果に基づいて、前記プローブ及び前記検査対象デバイスの少なくともいずれか一方の高さの分布を示す高さマップ画像を生成する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報