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1. WO2020121825 - 解析装置及び画像生成方法

公開番号 WO/2020/121825
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/046565
国際出願日 28.11.2019
IPC
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
G01R 31/28 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 内田 伸 UCHIDA, Shin
代理人
  • 金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo
  • 萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi
  • 扇田 尚紀 OGITA, Naoki
  • 三根 卓也 MINE, Takuya
優先権情報
2018-23076910.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ANALYSIS DEVICE AND IMAGE GENERATION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION D'IMAGE
(JA) 解析装置及び画像生成方法
要約
(EN)
Provided is an analysis device for analyzing the results of an inspection of a body to be inspected, wherein the body to be inspected has a plurality of devices to be inspected formed thereon, each of the devices having an electrode on which a needle trace is formed due to a contact of a probe during an electric inspection. The analysis device comprises a display unit which displays an image, and an image generation unit which generates the image displayed on the display unit. The image generation unit generates analysis images on the basis of information pertaining to inspection results with respect to the needle trace. The analysis images include: a needle trace scatter diagram image indicating the positions of the needle traces with respect to the electrode in the respective devices to be inspected in an overlapped manner; a body to be inspected map image which is an image indicating a surface of the body to be inspected on which the devices to be inspected are formed, and indicating the needle trace inspection results with respect to the devices to be inspected at positions corresponding to the respective devices to be inspected; and a captured image of the electrodes. The display contents of the needle trace scatter diagram image, the body to be inspected map image, and the captured image are in conjunction with one another.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'analyse pour analyser les résultats d'une inspection d'un corps à inspecter, le corps à inspecter comportant une pluralité de dispositifs à inspecter formés sur celui-ci, chacun des dispositifs ayant une électrode sur laquelle une trace d'aiguille est formée en raison d'un contact d'une sonde pendant une inspection électrique. Le dispositif d'analyse comprend une unité d'affichage qui affiche une image, et une unité de génération d'image qui génère l'image affichée sur l'unité d'affichage. L'unité de génération d'image génère des images d'analyse sur la base d'informations relatives à des résultats d'inspection par rapport à la trace d'aiguille. Les images d'analyse comprennent: une image de diagramme de diffusion de trace d'aiguille indiquant les positions des traces d'aiguille par rapport à l'électrode dans les dispositifs respectifs à inspecter d'une manière superposée; une image de carte de corps à inspecter qui est une image indiquant une surface du corps à inspecter sur laquelle les dispositifs à inspecter sont formés, et indiquant les résultats d'inspection de trace d'aiguille par rapport aux dispositifs à inspecter à des positions correspondant aux dispositifs respectifs à inspecter; et une image capturée des électrodes. Les contenus d'affichage de l'image de diagramme de diffusion de trace d'aiguille, de l'image de carte de corps à inspecter et de l'image capturée sont conjugués les uns avec les autres.
(JA)
検査対象体の検査の結果を解析するための解析装置であって、前記検査対象体は、電気的検査時にプローブが接触することにより針跡が形成される電極をそれぞれ有する検査対象デバイスが複数形成され、前記解析装置は、画像を表示する表示部と、前記表示部に表示する画像を生成する画像生成部と、を有し、前記画像生成部は、前記針跡についての検査結果に関する情報に基づいて解析用画像を生成し、前記解析用画像は、前記検査対象デバイスそれぞれの、前記電極に対する前記針跡の位置を、重ねて示す針跡散布図画像と、前記検査対象体の前記検査対象デバイスの形成面を示した画像であって、前記検査対象デバイスそれぞれと対応する位置に、当該検査対象デバイスについての針跡検査結果が示された検査対象体マップ画像と、前記電極の撮像画像と、を有し、前記針跡散布図画像、前記検査対象体マップ画像及び前記撮像画像それぞれの表示内容は互いに連動している。
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