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1. WO2020121778 - 静電容量センサ

公開番号 WO/2020/121778
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/045737
国際出願日 22.11.2019
IPC
G01B 7/14 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
7電気的または磁気的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
14離隔対象物または離隔開口間の距離または間隙測定用
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人
  • ローツェ株式会社 RORZE CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 福崎 義樹 FUKUZAKI Yoshiki
代理人
  • 忰熊 嗣久 KASEGUMA Tsuguhisa
優先権情報
2018-23190611.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELECTROSTATIC CAPACITANCE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE CAPACITÉ ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電容量センサ
要約
(EN)
Provided is an electrostatic capacitance sensor which can remove an influence of a noise occurring from a neutralization device or a driving source and accurately perform measurement even on electrostatic capacitance detected by a thin-type detection unit which can be pasted to a finger surface of a wafer transfer robot. The present invention is provided with: an AC supply source 29 which supplies an AC voltage to a detection unit 1a; a parasitic capacitance compensation circuit 33; an operational amplifier 28; a differential amplifier 34; a phase detection means 35; and a low pass filter, wherein an operational amplification output terminal is connected to an inversion input terminal of the differential amplifier 34 through a first band pass filter 30, the AC supply source 29 is connected to a non-inversion input terminal of the differential amplifier 34 through a second band pass filter 31, an output terminal of the differential amplifier 34 is connected to an input terminal of the phase detection means 35, and the phase detection means 35 takes, as a reference signal, an AC signal output from the AC supply source 29.
(FR)
L'invention concerne un capteur de capacité électrostatique qui peut éliminer une influence d'un bruit se produisant à partir d'un dispositif de neutralisation ou d'une source d'entraînement et effectuer une mesure avec précision, même sur une capacité électrostatique détectée par une unité de détection de type mince qui peut être collée à une surface de doigt d'un robot de transfert de tranche. La présente invention comprend : une source d'alimentation en CA (29) qui fournit une tension en CA à une unité de détection (1a) ; un circuit de compensation de capacité parasite (33) ; un amplificateur opérationnel (28) ; un amplificateur différentiel (34) ; un moyen de détection de phase (35) ; et un filtre passe-bas, une borne de sortie d'amplification opérationnelle étant connectée à une borne d'entrée d'inversion de l'amplificateur différentiel (34) par l'intermédiaire d'un premier filtre passe-bande (30), la source d'alimentation en CA (29) est connectée à une borne d'entrée sans inversion de l'amplificateur différentiel (34) par l'intermédiaire d'un second filtre passe-bande (31), une borne de sortie de l'amplificateur différentiel (34) est connectée à une borne d'entrée du moyen de détection de phase (35) et le moyen de détection de phase (35) prend, en tant que signal de référence, un signal CA délivré par la source d'alimentation en CA (29).
(JA)
ウエハ搬送ロボットのフィンガ表面に貼付することが可能な薄型の検出部が検出する静電容量であっても、除電装置や駆動源から発生するノイズの影響を除去して、正確な測定を行うことが出来る静電容量センサを提供する。検出部1aに交流電圧を供給する交流供給源29と、寄生容量補償回路33と、演算増幅器28と、差動アンプ34と、位相検波手段35と、ローパスフィルタとを備え、演算増幅出力端子は第1のバンドパスフィルタ30を介して前記差動アンプ34の反転入力端子に接続され、交流供給源29は第2のバンドパスフィルタ31を介して前記差動アンプ34の非反転入力端子に接続され、差動アンプ34の出力端子は位相検波手段35の入力端子に接続され、位相検波手段35は、交流供給源29から出力される交流信号を参照信号とする。
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