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1. WO2020121663 - 弾性波装置

公開番号 WO/2020/121663
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/042190
国際出願日 28.10.2019
IPC
H03H 9/145 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02細部
125駆動手段,例.電極,コイル
145弾性表面波を用いる回路網のためのもの
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 中澤 秀太郎 NAKAZAWA, Hidetaro
代理人
  • 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所 MIYAZAKI & METSUGI
優先権情報
2018-23324713.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELASTIC WAVE DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES
(JA) 弾性波装置
要約
(EN)
Provided is an elastic wave device with which it is possible to effectively inhibit IMD. The elastic wave device 1 is provided with a piezoelectric substrate 2, and an IDT electrode 3 provided on the piezoelectric substrate 2. The IDT electrode 3 has a first comb-shaped electrode 6 having a plurality of first electrode fingers 16, and a second comb-shaped electrode 7 having a plurality of second electrode fingers 17. The IDT electrode 3 has first portions A in which a main electrode layer comprises a first metal, and second portions B in which a main electrode layer comprises a second metal. The plurality of first electrode fingers 16 and the second comb-shaped electrode 7 have first facing parts facing each other across a gap, and the plurality of second electrode fingers 17 and the first comb-shaped electrode 6 have second facing parts facing each other across a gap. At least one of the facing parts from among each of the first facing parts and each of the second facing parts is the second portion B, and the portions of the IDT electrode 3 other than the second portions B are the first portions A. The density of the second metal is higher than the density of the first metal.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à ondes élastiques avec lequel il est possible d'inhiber l'IMD. Un dispositif à ondes élastiques (1) comporte un substrat piézoélectrique (2), et une électrode IDT (3) disposée sur le substrat piézoélectrique (2). L'électrode IDT (3) comprend une première électrode en forme de peigne (6) ayant une pluralité de premiers doigts d'électrode (16), et une seconde électrode en forme de peigne (7) ayant une pluralité de seconds doigts d'électrode (17). L'électrode IDT (3) comprend des premières parties (A) dans lesquelles une couche d'électrode principale comprend un premier métal, et des secondes parties (B) dans lesquelles une couche d'électrode principale comprend un second métal. La pluralité de premiers doigts d'électrode (16) et la seconde électrode en forme de peigne (7) ont des premières parties en regard l'une en face de l'autre à travers un espace, et la pluralité de seconds doigts d'électrode (17) et la première électrode en forme de peigne (6) ont des secondes parties en regard l'une en face de l'autre à travers un espace. Au moins l'une des parties en regard parmi chacune des premières parties en regard et chacune des secondes parties en regard est la seconde partie (B), et les parties de l'électrode IDT (3) autres que les secondes parties (B) sont les premières parties (A). La densité du second métal est supérieure à la densité du premier métal.
(JA)
IMDを効果的に抑制することができる、弾性波装置を提供する。 弾性波装置1は、圧電性基板2と、圧電性基板2上に設けられているIDT電極3とを備える。IDT電極3は、複数の第1の電極指16を含む第1の櫛歯状電極6及び複数の第2の電極指17を含む第2の櫛歯状電極7を有する。IDT電極3は、主電極層が第1の金属からなる第1の部分Aと、主電極層が第2の金属からなる第2の部分Bとを有する。複数の第1の電極指16及び第2の櫛歯状電極7はギャップを隔てて対向する第1の対向部をそれぞれ有し、複数の第2の電極指17及び第1の櫛歯状電極6はギャップを隔てて対向する第2の対向部をそれぞれ有する。各第1の対向部及び各第2の対向部のうち少なくともいずれかの対向部が第2の部分Bであり、IDT電極3における第2の部分B以外の部分が第1の部分Aである。第2の金属の密度は第1の金属の密度よりも高い。
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