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1. WO2020121609 - 圧電トランスデューサ

公開番号 WO/2020/121609
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/034707
国際出願日 04.09.2019
IPC
H01L 41/09 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
H01L 41/053 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02細部
04圧電または電歪素子のもの
053取付具,支持具,囲いまたはケーシング
H01L 41/113 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
113機械的入力および電気的出力をもつもの
H01L 41/187 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
16材料の選択
18圧電または電歪素子用
187セラミック組成物
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 黒川 文弥 KUROKAWA, Fumiya
  • 池内 伸介 IKEUCHI, Shinsuke
  • 持田 洋一 MOCHIDA, Yoichi
  • 梅澤 青司 UMEZAWA, Seiji
  • 安達 永純 ADACHI, Nobuyoshi
  • 岸本 諭卓 KISHIMOTO, Yutaka
代理人
  • 特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
2018-23089810.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PIEZOELECTRIC TRANSDUCER
(FR) TRANSDUCTEUR PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電トランスデューサ
要約
(EN)
Each of a plurality of beam portions (110) includes a fixed end part (111) and extends in a direction away from the fixed end part (111). A base part (120) is connected to the fixed end part (111) of each of the plurality of beam portions (110). Each of the plurality of beam portions (110) extends in the same plane. Among the plurality of beam portions (110), at least two beam portions (110) have mutually different extending directions (E). Each of the plurality of beam portions (110) includes a single crystalline piezoelectric body layer (10) having a polarization axis of the same direction, an upper electrode layer (20), and a lower electrode layer (30). A polarization axis (Z') has a polarization component in the plane. The axial direction of an orthogonal axis (X') orthogonal to the polarization axis (Z') and extending in the plane intersects the extending direction (E) of each of the plurality of beam portions (110).
(FR)
L'invention concerne un transducteur piézoélectrique comportant une pluralité de parties de poutre (110) dont chacune comprend une partie d'extrémité fixe (111) et s'étend dans une direction opposée à la partie d'extrémité fixe (111). Une partie de base (120) est reliée à la partie d'extrémité fixe (111) de chacune de la pluralité de parties de poutre (110). Chacune de la pluralité de parties de poutre (110) s'étend dans le même plan. Parmi la pluralité de parties de poutre (110), au moins deux parties de poutre (110) présentent des directions d'extension (E) mutuellement différentes. Chacune de la pluralité de parties de poutre (110) comprend une seule couche de corps piézoélectrique monocristalline (10) présentant un axe de polarisation orienté dans la même direction, une couche d'électrode supérieure (20) et une couche d'électrode inférieure (30). Un axe de polarisation (Z') présente une composante de polarisation dans le plan. La direction axiale d'un axe orthogonal (X') orthogonal à l'axe de polarisation (Z') et s'étendant dans le plan croise la direction d'extension (E) de chacune de la pluralité de parties de poutre (110).
(JA)
複数の梁部(110)の各々は、固定端部(111)を有し、固定端部(111)から離れる方向に延在している。基部(120)は、複数の梁部(110)の各々の固定端部(111)と接続されている。複数の梁部(110)の各々は、同一平面内で延在し、かつ、複数の梁部(110)のうち少なくとも2つの梁部(110)の各々の延在方向(E)は、互いに異なっている。複数の梁部(110)の各々は、同一方向の分極軸を有する単結晶圧電体層(10)と、上部電極層(20)と、下部電極層(30)とを含んでいる。分極軸(Z')は、上記平面内において分極成分を有している。分極軸(Z')に直交し、かつ、上記平面内で延在する、直交軸(X')の軸方向は、複数の梁部(110)の各々の延在方向(E)と交差している。
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