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1. WO2020121596 - 圧電トランスデューサ

公開番号 WO/2020/121596
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/032100
国際出願日 16.08.2019
IPC
H04R 17/00 2006.01
H電気
04電気通信技術
Rスピーカ,マイクロホン,蓄音機ピックアップまたは類似の音響電気機械変換器;補聴器;パブリックアドレスシステム
17圧電型変換器;電わい型変換器
B81B 3/00 2006.01
B処理操作;運輸
81マイクロ構造技術
Bマイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
H01L 41/053 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02細部
04圧電または電歪素子のもの
053取付具,支持具,囲いまたはケーシング
H01L 41/113 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
113機械的入力および電気的出力をもつもの
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 梅澤 青司 UMEZAWA, Seiji
  • 池内 伸介 IKEUCHI, Shinsuke
  • 黒川 文弥 KUROKAWA, Fumiya
  • 安達 永純 ADACHI, Nobuyoshi
  • 持田 洋一 MOCHIDA, Yoichi
代理人
  • 特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
2018-23089910.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PIEZOELECTRIC TRANSDUCER
(FR) TRANSDUCTEUR PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電トランスデューサ
要約
(EN)
End parts (121) of each of a plurality of beam parts (120) are supported by base parts (110), and each of the plurality of beam parts (120) extends in a direction away from the base parts (110) at positions further to the upper side than the base parts (110). Each of the plurality of beam parts (120) is formed from a plurality of layers. Each of the plurality of beam parts (120) comprises: a piezoelectric body layer (122); an upper electrode layer (123) which is positioned to the upper side of the piezoelectric body layer (122); and a lower electrode layer (124) which is positioned so as to face at least a portion of the upper electrode layer (123) with the piezoelectric body layer (122) sandwiched therebetween. Anchoring parts (130) are positioned above the beam parts (120) so as to sandwich the end parts (121) of each of the plurality of beam parts (120) between said anchoring parts (130) and the base parts (110). While being positioned so as to vertically overlap at least partially with the base parts (110), the anchoring parts (130) extend so as to protrude further than the base parts (110) in the extension direction of the beam parts (120).
(FR)
Selon la présente invention, des éléments d'extrémité (121) de chacune d'une pluralité d'éléments oblongs (120) sont supportés par des éléments de base (110), et chacune de la pluralité d'éléments oblongs (120) s'étend dans une direction s'éloignant des éléments de base (110) à des positions plus éloignées du côté supérieur que les éléments de base (110). Chacune de la pluralité d'éléments oblongs (120) est formée à partir d'une pluralité de couches. Chacune de la pluralité d'éléments oblongs (120) comprend : une couche de corps piézoélectrique (122); une couche d'électrode supérieure (123) qui est positionnée sur le côté supérieur de la couche de corps piézoélectrique (122); et une couche d'électrode inférieure (124) qui est positionnée de manière à faire face à au moins une partie de la couche d'électrode supérieure (123) avec la couche de corps piézoélectrique (122) prise en sandwich entre elles. Des éléments d'ancrage (130) sont positionnés au-dessus des éléments oblongs (120) de façon à prendre en sandwich les éléments d'extrémité (121) de chacune de la pluralité d'éléments oblongs (120) entre lesdits éléments d'ancrage (130) et les éléments de base (110). Tout en étant positionnés de façon à se chevaucher verticalement au moins partiellement avec les éléments de base (110), les éléments d'ancrage (130) s'étendent de façon à faire saillie plus loin que les éléments de base (110) dans la direction d'extension des éléments oblongs (120).
(JA)
複数の梁部(120)の各々は、基部(110)に端部(121)を支持されて、基部(110)より上側の位置にて基部(110)から離れる方向に延在している。複数の梁部(120)の各々は、複数の層からなる。複数の梁部(120)の各々は、圧電体層(122)と、圧電体層(122)の上側に配置された上部電極層(123)と、圧電体層(122)を挟んで上部電極層(123)の少なくとも一部に対向するように配置された下部電極層(124)とを含んでいる。固定部(130)は、複数の梁部(120)の各々の端部(121)を基部(110)と挟むように梁部(120)上に配置されている。固定部(130)は、上下方向において基部(110)の少なくとも一部と重なるように位置しつつ、梁部(120)の延在方向において、基部(110)より突出するように延在している。
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