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1. WO2020121594 - 表面特性検査装置及び表面特性検査用の機械学習装置

公開番号 WO/2020/121594
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/031698
国際出願日 09.08.2019
IPC
G01N 21/17 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
17調査される材料の特性に応じて入射光が変調されるシステム
G01B 11/24 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
G01B 11/30 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
30表面の粗さまたは不規則性測定用
G01N 21/55 2014.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
17調査される材料の特性に応じて入射光が変調されるシステム
55鏡面反射
G01N 21/57 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
17調査される材料の特性に応じて入射光が変調されるシステム
55鏡面反射
57光沢の測定
出願人
  • 株式会社堀場製作所 HORIBA, LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 長岡 英一 NAGAOKA, Eiichi
代理人
  • 西村 竜平 NISHIMURA, Ryuhei
優先権情報
2018-23470114.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SURFACE CHARACTERISTICS INSPECTION DEVICE AND MACHINE LEARNING DEVICE FOR SURFACE CHARACTERISTICS INSPECTION
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE CARACTÉRISTIQUES DE SURFACE ET DISPOSITIF D'APPRENTISSAGE MACHINE POUR L'INSPECTION DE CARACTÉRISTIQUES DE SURFACE
(JA) 表面特性検査装置及び表面特性検査用の機械学習装置
要約
(EN)
The present invention accurately detects the surface characteristics of a specimen. The present invention comprises a light emission part 2 that emits light at a specimen W, an imaging part 3 that captures an image of reflected light from the specimen W, an image processing part 4 that performs a nonlinear transformation on the image captured by the imaging part 3 and thereby generates a transformed image, and a surface characteristics calculation part 5 that uses the transformed image to calculate the surface characteristics of the specimen.
(FR)
La présente invention détecte avec précision les caractéristiques de surface d'un échantillon. La présente invention comprend une partie d'émission de lumière 2 qui émet une lumière au niveau d'un échantillon W, une partie d'imagerie 3 qui capture une image d'une lumière réfléchie par l'échantillon W, une partie de traitement d'image 4 qui réalise une transformation non linéaire sur l'image capturée par la partie d'imagerie 3 et génère ainsi une image transformée, et une partie de calcul de caractéristiques de surface 5 qui utilise l'image transformée pour calculer les caractéristiques de surface de l'échantillon.
(JA)
本発明は、被検物の表面特性を精度良く検出するものであり、被検物Wに光を照射する光照射部2と、被検物Wからの反射光を撮像する撮像部3と、撮像部3の撮像画像を非線形変換して変換画像を生成する画像処理部4と、変換画像を用いて被検物の表面特性を算出する表面特性算出部5とを備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報