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1. WO2020121576 - 真空計及びこの真空計を備える圧力測定システム

公開番号 WO/2020/121576
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/027468
国際出願日 11.07.2019
IPC
G01L 9/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
G01L 19/12 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
19流動体の定常圧または準定常圧測定装置の細部または付属品であって,特定形式の圧力計に限定されないもの
08指示または記録手段,例.遠隔指示のためのもの
12警報または信号
G01L 21/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
21真空計
G01L 21/12 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
21真空計
10被測圧媒体の熱伝導率の変化の測定によるもの
12測定部材,例.フィラメント,の電気抵抗の変化を測定するもの;ピラニ型真空計
CPC
G01L 19/086
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
08Means for indicating or recording, e.g. for remote indication
086for remote indication
G01L 19/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
08Means for indicating or recording, e.g. for remote indication
12Alarms or signals
G01L 21/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
G01L 21/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
10by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
12measuring changes in electric resistance of measuring members, e.g. of filaments; Vacuum gauges of the Pirani type
出願人
  • 株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 佐藤 貴伸 SATO Takanobu
  • 中島 豊昭 NAKAJIMA Toyoaki
  • 宮下 剛 MIYASHITA Takeshi
  • 福原 万沙洋 FUKUHARA Masahiro
  • 吉澤 秀樹 YOSHIZAWA Hideki
代理人
  • 特許業務法人青莪 SEIGA PATENT AND TRADEMARK CORPORATION
優先権情報
2018-23295712.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VACUUM GAUGE AND PRESSURE MEASUREMENT SYSTEM COMPRISING VACUUM GAUGE
(FR) VACUOMÈTRE ET SYSTÈME DE MESURE DE PRESSION COMPRENANT UN VACUOMÈTRE
(JA) 真空計及びこの真空計を備える圧力測定システム
要約
(EN)
Provided are a vacuum gauge that makes it possible to simply set and change a setting value and a pressure measurement system comprising the vacuum gauge. The vacuum gauge PG has a body 1 attached to an object Vc under measurement and measures the internal pressure of the body 1. Provided inside the body are: a sensor unit 20 that operates by receiving supplied power; a control unit 30 that controls the operation of the sensor unit, processes input from the sensor unit, and outputs a prescribed signal; and a first power supply circuit unit 40 that receives power supplied from an external power supply 41 and supplies power to the control unit and sensor unit. Further provided inside the body are: a second power supply circuit unit 50 that is connected to a terminal device Mt through wiring or wirelessly, receives power from the terminal device, and at least supplies power to the control unit and a communication circuit unit 60 that, if power is supplied to the control unit through the first power supply circuit unit or second power supply circuit unit, connects the control unit to the terminal device via a communication line 61 such that the terminal device and control unit can communicate freely.
(FR)
L'invention concerne un vacuomètre qui permet de régler et de modifier simplement une valeur de réglage et un système de mesure de pression comprenant le vacuomètre. Le vacuomètre PG comprend un corps 1 fixé à un objet Vc à mesurer et mesure la pression interne du corps 1. A l'intérieur du corps se trouvent : une unité de capteur 20 qui fonctionne en recevant de l'énergie fournie ; une unité de commande 30 qui commande le fonctionnement de l'unité de capteur, traite une entrée venant de l'unité de capteur, et délivre un signal prescrit ; et une première unité de circuit d'alimentation en énergie 40 qui reçoit de l'énergie fournie par une alimentation en énergie externe 41 et fournit de l'énergie à l'unité de commande et à l'unité de capteur. En outre, à l'intérieur du corps se trouvent : une seconde unité de circuit d'alimentation en énergie 50 qui est connectée à un dispositif de terminal Mt par câblage ou sans fil, reçoit de l'énergie provenant du dispositif de terminal, et au moins fournit de l'énergie à l'unité de commande et à une unité de circuit de communication 60 qui, si l'énergie est fournie à l'unité de commande par l'intermédiaire de la première unité de circuit d'alimentation en énergie ou de la seconde unité de circuit d'alimentation en énergie, connecte l'unité de commande au dispositif de terminal par l'intermédiaire d'une ligne de communication 61 de telle sorte que le dispositif de terminal et l'unité de commande peuvent communiquer librement.
(JA)
簡便に設定値を設定、変更できるように構成した真空計及びこの真空計を備える圧力測定システムを提供する。 測定対象物Vcに装着される本体1を有してその内部の圧力を測定する真空計PGは、本体内に、電力供給を受けて作動するセンサ部20と、センサ部の作動を制御すると共に、このセンサ部からの入力を処理して所定の信号を出力する制御部30と、外部電源41から電力供給を受けて制御部とセンサ部に電力供給する第1電源回路部40とを備え、本体内に、端末機Mtに有線または無線により接続されてこの端末機から電力供給を受けて少なくとも制御部に電力供給する第2電源回路部50と、第1電源回路部と第2電源回路部とのいずれか一方を介して制御部に電力供給されると、端末機に通信回線61を介して通信自在に制御部を接続する通信回路部60とを更に備える。
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