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1. WO2020121565 - 三次元形状検出装置、方法、及びプラズマ処理装置

公開番号 WO/2020/121565
公開日 18.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/026713
国際出願日 04.07.2019
IPC
G01B 11/24 2006.01
G物理学
01測定;試験
B長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24輪郭または曲率の測定用
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 山田 健一郎 YAMADA Kenichiro
  • 永沢 充 NAGASAWA Mitsuru
代理人
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) THREE-DIMENSIONAL SHAPE DETECTION DEVICE, METHOD, AND PLASMA PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION DE FORME TRIDIMENSIONNELLE, PROCÉDÉ ASSOCIÉ, ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) 三次元形状検出装置、方法、及びプラズマ処理装置
要約
(EN)
The present invention eliminates the effects of patterns that are outside the scope of dimensional (three-dimensional shape) management from spectral reflection intensity in a field of view when a plurality of patterns is included in the field of view during scattered light measurement in scatterometry, without modeling the patterns that are outside the scope of dimensional management. A three-dimensional shape detection device 100 has a spectral reflection intensity measurement unit that measures the spectral reflection intensity in the field of view of a light spot by irradiating a sample 103 under analysis with the light spot, and detects the three-dimensional shape within the field of view of the light spot on the basis of the spectral reflection intensity that is measured. An external control device 102 of the three-dimensional shape detection device 100 has: a spectral characteristic value calculation unit capable of measuring, in advance, spectral feature values in a first area within the field of view of the light spot; and an area ratio estimation unit capable of estimating the area ratio between the first area in the field of view of the light spot, and a second area outside of the first area in the field of view of the light spot.
(FR)
La présente invention permet d'éliminer les effets de motifs qui se trouvent hors du champ d'application de la gestion dimensionnelle (forme tridimensionnelle) à partir d'une intensité de réflexion spectrale dans un champ de vision, lorsqu'une pluralité de motifs est comprise dans le champ de vision pendant la mesure de lumière diffusée en diffusiométrie, sans modéliser les motifs qui se trouvent hors du champ d'application de la gestion dimensionnelle. Un dispositif de détection de forme tridimensionnelle (100) comprend une unité de mesure d'intensité de réflexion spectrale qui mesure l'intensité de réflexion spectrale dans le champ de vision d'un point lumineux par irradiation d'un échantillon (103) en cours d'analyse avec le point lumineux, et détecte la forme tridimensionnelle dans le champ de vision du point lumineux sur la base de l'intensité de réflexion spectrale qui est mesurée. Un dispositif de commande externe (102) du dispositif de détection de forme tridimensionnelle (100) comporte une unité de calcul de valeur de caractéristique spectrale capable de mesurer, à l'avance, des valeurs de caractéristique spectrale dans une première zone à l'intérieur du champ de vision du point lumineux; et une unité d'estimation de rapport de zone capable d'estimer le rapport de zone entre la première zone dans le champ de vision du point lumineux, et une seconde zone à l'extérieur de la première zone dans le champ de vision du point lumineux.
(JA)
分光Scatterometryにおいて散乱光測定時の視野に複数パターンが含まれる場合に、当該視野における分光反射強度から寸法(三次元形状)管理の対象外であるパターンの影響の除去を、該寸法管理対象外のパターンをモデル化することなく実現する。対象であるサンプル103に光スポットを照射することで光スポットの視野における分光反射強度を測定する分光反射強度測定部を有し、測定した分光反射強度に基づき光スポットの視野内の三次元形状を検出する三次元形状検出装置100であって、その外部制御装置102に、光スポットの視野内の第一の領域における分光特徴値を事前に計算可能な分光特徴値計算部と、光スポットの視野内の第一の領域と、光スポットの視野内における第一の領域以外の第二の領域との面積率を推定可能な面積率推定部とを有する。
他の公開
KR1020207009876
KRKR1020207009876
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