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1. WO2020116528 - 弾性波装置

公開番号 WO/2020/116528
公開日 11.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047470
国際出願日 04.12.2019
IPC
H03H 9/145 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02細部
125駆動手段,例.電極,コイル
145弾性表面波を用いる回路網のためのもの
H03H 9/25 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
25弾性表面波を使用する共振器の構造上の特徴
H03H 9/64 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
46濾波器
64弾性表面波を用いるもの
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 大村 正志 OMURA, Masashi
  • 木村 哲也 KIMURA, Tetsuya
代理人
  • 特許業務法人北斗特許事務所 HOKUTO PATENT ATTORNEYS OFFICE
優先権情報
2018-22942906.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELASTIC WAVE APPARATUS
(FR) APPAREIL À ONDES ÉLASTIQUES
(JA) 弾性波装置
要約
(EN)
Provided is an elastic wave apparatus that is capable of improving resonance characteristics. An elastic wave apparatus (1) is provided with a support substrate, an acoustic reflection layer (3), a piezoelectric layer (4), and an IDT electrode (5). In the acoustic reflection layer (3), a high acoustic impedance layer (31) and/or a low acoustic impedance layer is an electroconductive layer. When the wavelength of an elastic wave determined by an electrode finger pitch (P1) of the IDT electrode (5) is λ, and a region between an envelope line (L1) for the leading ends of a plurality of first electrode fingers (53) and an envelope line (L2) for the leading ends of a plurality of second electrode fingers (54) is defined as an intersection region (55), the electroconductive layer (high acoustic impedance layer 31) overlaps at least the intersection region (55) in a planar view in the thickness direction of the support substrate, and the distance (d1) from the leading ends of the plurality of first electrode fingers (53) to an end of the electroconductive layer (end 31A of the high acoustic impedance layer 31), in the extension direction of the plurality of first electrode fingers (53), is greater than 0 λ but not greater than 12 λ.
(FR)
L'invention concerne un appareil à ondes élastiques qui est apte à améliorer des caractéristiques de résonance. Un appareil à ondes élastiques (1) est pourvu d'un substrat de support, d'une couche de réflexion acoustique (3), d'une couche piézoélectrique (4) et d'une électrode IDT (5). Dans la couche de réflexion acoustique (3), une couche d'impédance acoustique élevée (31) et/ou une couche à faible impédance acoustique est une couche électroconductrice. Lorsque la longueur d'onde d'une onde élastique déterminée par un pas de doigt d'électrode (P1) de l'électrode IDT (5) est λ, et une région entre une ligne d'enveloppe (L1) pour les extrémités avant d'une pluralité de premiers doigts d'électrode (53) et une ligne d'enveloppe (L2) pour les extrémités avant d'une pluralité de seconds doigts d'électrode (54) est définie comme une région d'intersection (55), la couche électroconductrice (couche d'impédance acoustique élevée 31) chevauche au moins la région d'intersection (55) dans une vue en plan dans la direction de l'épaisseur du substrat de support, et la distance (d1) à partir des extrémités avant de la pluralité de premiers doigts d'électrode (53) à une extrémité de la couche électroconductrice (extrémité 31A de la couche d'impédance acoustique élevée 31), dans la direction d'extension de la pluralité de premiers doigts d'électrode (53), est supérieure à 0 λ mais n'est pas supérieure à 12 λ.
(JA)
共振特性を向上させることが可能な弾性波装置を提供する。弾性波装置(1)は、支持基板と、音響反射層(3)と、圧電体層(4)と、IDT電極(5)と、を備える。音響反射層(3)では、高音響インピーダンス層(31)及び低音響インピーダンス層の少なくとも1つが導電層である。IDT電極(5)の電極指ピッチ(P1)により定まる弾性波の波長をλとし、複数の第1電極指(53)の先端の包絡線(L1)と複数の第2電極指(54)の先端の包絡線(L2)との間の領域を交差領域(55)としたときに、支持基板の厚さ方向からの平面視において、導電層(高音響インピーダンス層31)が少なくとも交差領域(55)に重複し、複数の第1電極指(53)の延びている方向で複数の第1電極指(53)の先端から導電層の端(高音響インピーダンス層31の端31A)まで距離(d1)が0より大きく12λ以下である。
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