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1. WO2020116510 - 基板搬送装置及びその運転方法

公開番号 WO/2020/116510
公開日 11.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/047417
国際出願日 04.12.2019
IPC
B25J 13/08 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
13マニプレータの制御
08センサー手段,例.視覚または触覚装置,によるもの
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
H01L 21/67 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
出願人
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 斎藤 雅行 SAITO, Masayuki
  • 福島 崇行 FUKUSHIMA, Takayuki
代理人
  • 特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE
優先権情報
2018-22971107.12.2018JP
2019-09773124.05.2019JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE AND OPERATION METHOD FOR SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT DESTINÉ À UN DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置及びその運転方法
要約
(EN)
A substrate transport device 101 that holds and transports a substrate 1. The substrate transport device 101 comprises a hand 20 that holds the substrate 1, a manipulator 30 to which the hand 20 is attached, and a substrate detector 60 that is arranged on the hand 20 and detects the distance to a principal surface of the substrate 1. The substrate detector 60 is preferably arranged at a tip end part of the hand 20. The substrate detector 60 is preferably an electrostatic capacitance sensor.
(FR)
L’invention concerne un dispositif de transport de substrat (101) qui maintient et transporte un substrat (1). Le dispositif de transport de substrat (101) comprend une main (20) qui maintient le substrat (1), un manipulateur (30) auquel est fixée la main (20), et un détecteur de substrat (60) qui est disposé sur la main (20) et détecte la distance à une surface principale du substrat (1). Le détecteur de substrat (60) est de préférence disposé au niveau d'une partie extrémité de pointe de la main (20). Le détecteur de substrat (60) est de préférence un capteur de capacité électrostatique.
(JA)
基板搬送装置101は、基板1を保持して搬送する。この基板搬送装置101は、基板1を保持するハンド20と、ハンド20が取り付けられたマニピュレータ30と、ハンド20に配置されており、基板1の主面までの距離を検知する基板検出器60とを備える。好ましくは、基板検出器60が、ハンド20の先端部に配置されている。好ましくは、基板検出器60は静電容量センサである。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報