処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2020116346 - プラズマ装置用直流パルス電源装置

公開番号 WO/2020/116346
公開日 11.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/046808
国際出願日 29.11.2019
IPC
H02M 3/155 2006.01
H電気
02電力の発電,変換,配電
M交流-交流,交流-直流または直流-直流変換装置,および主要な,または類似の電力供給システムと共に使用するための装置:直流または交流入力-サージ出力変換;そのための制御または調整
3直流入力一直流出力変換
02中間に交流変換をもたないもの
04静止型変換器によるもの
10制御電極を有する放電管または制御電極を有する半導体装置を使用するもの
145制御信号の連続的印加を必要とする三極管またはトランジスタ型式の装置を用いるもの
155半導体装置のみを用いるもの
H02M 3/28 2006.01
H電気
02電力の発電,変換,配電
M交流-交流,交流-直流または直流-直流変換装置,および主要な,または類似の電力供給システムと共に使用するための装置:直流または交流入力-サージ出力変換;そのための制御または調整
3直流入力一直流出力変換
22中間に交流変換をもつもの
24静止型変換器によるもの
28一旦交流を発生するために制御電極をもつ放電管または制御電極をもつ半導体装置を用いるもの
H02M 9/04 2006.01
H電気
02電力の発電,変換,配電
M交流-交流,交流-直流または直流-直流変換装置,および主要な,または類似の電力供給システムと共に使用するための装置:直流または交流入力-サージ出力変換;そのための制御または調整
9直流または交流入力―サージ出力変換
02直流入力によるもの
04蓄電器を用いるもの
出願人
  • 京都電機器株式会社 KYOTO DENKIKI CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 藤吉 敏一 FUJIYOSHI, Toshikazu
  • 伏谷 周一 FUSHITANI, Syuichi
  • 木村 智 KIMURA, Satoshi
  • 辻本 正志 TSUJIMOTO, Masashi
  • 高橋 勇人 TAKAHASHI, Hayato
代理人
  • 特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE
優先権情報
2018-22787905.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DC PULSE POWER SUPPLY DEVICE FOR PLASMA DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À IMPULSIONS EN CC DESTINÉ À UN DISPOSITIF À PLASMA
(JA) プラズマ装置用直流パルス電源装置
要約
(EN)
A pulse forming unit (13) generates a DC pulse voltage by switching between the output voltage of a DC power supply (11) and the charged voltage of a capacitor (15) and applies the DC pulse voltage to a capacitive load circuit (50) including a plasma device. A control unit (12) plays a role in: a voltage switching operation in the pulse formation unit (13); and a PWM control for switching between step-up and step-down and charging/discharging in a step-up/step-down converter (14). The capacitor (15) is charged to a target value by the step-down operation of the step-up/step-down converter (14). When a DC pulse voltage applied to the capacitive load circuit (50) changes from a pulse top voltage to a pulse bottom voltage, the excess charge corresponding to the voltage difference between the top and bottom voltages moves from the capacitive load circuit (50) to the capacitor (15) and the charged voltage increases, so that a step-up operation is performed in the step-up/step-down converter (14) and the power corresponding to an increased amount of the voltage of the capacitor (15) is regenerated to the DC power supply (11). This makes it possible to improve power efficiency by the power regeneration and change the waveform of the DC pulse voltage applied to the capacitive load circuit in a wide range.
(FR)
Selon la présente invention, une unité de formation d'impulsions (13) génère une tension d'impulsion continue par commutation entre la tension de sortie d'une alimentation électrique CC (11) et la tension chargée d'un condensateur (15) et applique la tension d'impulsion continue à un circuit de charge capacitive (50) comprenant un dispositif à plasma. Une unité de commande (12) joue un rôle dans une opération de commutation de tension dans l'unité de formation d'impulsions (13), et dans une commande MLI servant à commuter entre l'élévation et l'abaissement et la charge/décharge dans un convertisseur élévateur/abaisseur de tension (14). Le condensateur (15) est chargé à une valeur cible par le biais de l'opération d'abaissement du convertisseur élévateur/abaisseur de tension (14). Quand une tension d'impulsion continue appliquée au circuit de charge capacitive (50) passe d'une tension maximale d'impulsion à une tension minimale d'impulsion, la charge excédentaire correspondant à la différence de tension entre les tensions maximale et minimale se déplace du circuit de charge capacitive (50) au condensateur (15) et la tension chargée augmente, de telle sorte qu'une opération d'élévation soit effectuée dans le convertisseur élévateur/abaisseur de tension (14) et la puissance correspondant à une grandeur accrue de la tension du condensateur (15) est régénérée vers l'alimentation électrique CC (11). Ceci permet d'améliorer le rendement en puissance par l'intermédiaire de la régénération de puissance et de modifier la forme d'onde de la tension d'impulsion continue appliquée au circuit de charge capacitive dans une large gamme.
(JA)
パルス形成部(13)は、直流電源(11)の出力電圧とコンデンサ(15)の充電電圧とを切り替えることで直流パルス電圧を生成し、プラズマ装置を含む容量性負荷回路(50)に印加する。制御部(12)は、パルス形成部(13)における電圧の切替え動作と昇圧/降圧コンバータ(14)における昇圧/降圧の切替えと充放電のためのPWM制御を担う。コンデンサ(15)は昇圧/降圧コンバータ(14)における降圧動作により目標値に充電される。容量性負荷回路(50)に印加される直流パルス電圧がパルス頂部電圧から底部電圧に変化したとき、その電圧差に対応する余剰電荷が容量性負荷回路(50)からコンデンサ(15)に移動して充電電圧が増加すると、昇圧/降圧コンバータ(14)で昇圧動作が行われ、コンデンサ(15)の電圧増加分に相当する電力が直流電源(11)に回生される。このようにして、電力回生により電力効率の改善を図るとともに、容量性負荷回路に印加する直流パルス電圧の波形を広範囲に変化させることができる。
他の公開
国際事務局に記録されている最新の書誌情報