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1. WO2020116169 - アニール装置及びアニール方法

公開番号 WO/2020/116169
公開日 11.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/045461
国際出願日 20.11.2019
IPC
H01L 21/265 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
26波または粒子の輻射線の照射
263高エネルギーの輻射線を有するもの
265イオン注入法
H01L 21/268 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
26波または粒子の輻射線の照射
263高エネルギーの輻射線を有するもの
268電磁波,例.レーザ光線,を用いるもの
出願人
  • 住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 田中 哲平 TANAKA, Teppei
代理人
  • 来山 幹雄 KITAYAMA, Mikio
優先権情報
2018-22643503.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ANNEALING DEVICE AND ANNEALING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE RECUIT ET PROCÉDÉ DE RECUIT
(JA) アニール装置及びアニール方法
要約
(EN)
In the present invention, a heating unit heats the surface of an annealing object and temporarily melts a surface layer section thereof. A sensor detects thermal emission light from the annealing object that was heated by the heating unit. A processing unit estimates the results of annealing the annealing object, on the basis of a waveform showing the temporal changes in the strength of the thermal emission light detected by the sensor.
(FR)
Dans la présente invention, une unité de chauffage chauffe la surface d'un objet de recuit et fait fondre temporairement une section de couche de surface de celui-ci. Un capteur détecte la lumière d'émission thermique provenant de l'objet de recuit qui a été chauffé par l'unité de chauffage. Une unité de traitement estime les résultats de recuit de l'objet de recuit, sur la base d'une forme d'onde montrant les changements temporels dans l'intensité de la lumière d'émission thermique détectée par le capteur.
(JA)
加熱部が、アニール対象物の表面を加熱して表層部を一時的に溶融させる。加熱部によって加熱されたアニール対象物からの熱放射光がセンサによって検出される。処理部が、センサによって検出された熱放射光の強度の時間変化を示す波形に基づいて、アニール対象物のアニール結果を推定する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報