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1. WO2020116150 - 搬送検知方法及び基板処理装置

公開番号 WO/2020/116150
公開日 11.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/045242
国際出願日 19.11.2019
IPC
B25J 13/08 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
13マニプレータの制御
08センサー手段,例.視覚または触覚装置,によるもの
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
H01L 21/68 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68位置決め,方向決め,または整列のためのもの
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 高橋 明 TAKAHASHI, Akira
  • 河邊 篤 KAWABE, Atsushi
代理人
  • 伊東 忠重 ITOH, Tadashige
  • 伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko
優先権情報
2018-22686603.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CONVEYANCE DETECTION METHOD AND SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE TRANSPORT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 搬送検知方法及び基板処理装置
要約
(EN)
Provided is a conveyance detection method to be used in a substrate treatment device having a conveyance arm which has a plurality of substrate holding parts and conveys a plurality of substrates in a stack with multiple levels, between a first chamber and a second chamber adjacent to the first chamber by using the substrate holding parts and having an optical sensor which is provided near an opening that connects the first and second chambers with each other, the method comprising: a step for projecting light having a horizontal-direction optical axis parallel to the opening, to a position through which the substrates held by the substrate holding parts pass; and a step for determining at least one of the states of the conveyance arm and the substrates on the substrate holding parts, in accordance with the result of detecting the light projected from the optical sensor.
(FR)
L'invention concerne un procédé de détection de transport destiné à être utilisé dans un dispositif de traitement de substrat ayant un bras de transport qui a une pluralité de parties de support de substrat et qui transporte une pluralité de substrats sous la forme d'un empilement avec de multiples niveaux entre une première chambre et une seconde chambre adjacente à la première chambre à l'aide des parties de support de substrat, et ayant un capteur optique qui est disposé à proximité d'une ouverture qui relie les première et seconde chambres l'une à l'autre, lequel procédé comprend : une étape de projection d'une lumière ayant un axe optique de direction horizontale parallèle à l'ouverture, vers une position à travers laquelle passent les substrats supportés par les parties de support de substrat ; et une étape de détermination d'au moins l'un des états du bras de transport et des substrats sur les parties de support de substrat, en fonction du résultat de détection de la lumière projetée à partir du capteur optique.
(JA)
複数の基板保持部を有し、前記複数の基板保持部を用いて第1室と前記第1室に隣接する第2室との間にて複数の基板を複数段に搬送する搬送アームと、前記第1室と前記第2室とを連通する開口部の近傍に設けられた光センサと、を有する基板処理装置における搬送検知方法であって、前記開口部に平行な水平方向の光軸を持つ光を、前記複数の基板保持部に保持された基板が通過する位置に投光する工程と、前記光センサが投光した前記光を検知した結果に応じて、前記基板保持部の上の基板及び前記搬送アームの状態の少なくともいずれかを判定する工程と、を有する搬送検知方法が提供される。
他の公開
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