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1. WO2020116086 - 露光用光源装置

公開番号 WO/2020/116086
公開日 11.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/043823
国際出願日 08.11.2019
IPC
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
G02B 6/42 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
6ライトガイド;ライトガイドおよびその他の光素子,例.カップリング,からなる装置の構造的細部
24ライトガイドのための結合
42ライトガイドと光電素子との結合
H01S 5/40 2006.01
H電気
01基本的電気素子
S光を増幅または生成するために,放射の誘導放出による光増幅を用いた装置;光領域以外の電磁放射の誘導放出を用いた装置
5半導体レーザ
40H01S5/02~H01S5/30に分類されない2個以上の半導体レーザの配列
出願人
  • ウシオ電機株式会社 USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 林 賢志 HAYASHI,Kenji
  • 三浦 雄一 MIURA,Yuichi
代理人
  • 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所 UNIUS PATENT ATTORNEYS OFFICE
優先権情報
2018-22849305.12.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) LIGHT SOURCE DEVICE FOR EXPOSURE
(FR) DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE POUR EXPOSITION
(JA) 露光用光源装置
要約
(EN)
Provided is a light source device for exposure that uses a plurality of semiconductor laser light sources and provides light having improved consistency of angle distribution. The light source device for exposure comprises: a plurality of semiconductor laser light sources; a plurality of collimator optical systems that are arranged corresponding to the plurality of semiconductor laser light sources, convert, into substantially parallel light bundles, light bundles emitted from the semiconductor laser light sources, and emit same; a condensing optical system that includes an incidence surface and condenses the light bundles emitted from the collimator optical system, said incidence surface having incident thereto the light bundles emitted from the collimator optical system; and an optical waveguide that includes a round incidence surface and is arranged at a position at which the light bundles emitted from the condensing optical system are condensed. When each of the light bundles on the incidence surface of the condensing optical system, emitted from the semiconductor laser light sources, are rotated about a virtual optical axis of the condensing optical system and lined up in the same radial direction, part of adjacent light bundles overlap and the ratio between the maximum and minimum number of light bundles that belong to a group of light bundles having the same distance from the optical axis of the condensing optical system is less than 2.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de source de lumière pour exposition qui utilise une pluralité de sources de lumière laser à semi-conducteur et qui fournit une lumière ayant une cohérence de distribution d'angle améliorée. Le dispositif de source de lumière pour exposition comprend : une pluralité de sources de lumière laser à semi-conducteur ; une pluralité de systèmes optiques à collimateur qui sont disposés de façon à correspondre à la pluralité de sources de lumière laser à semi-conducteur, qui convertissent des faisceaux de lumière émis par les sources de lumière laser à semi-conducteur en faisceaux de lumière sensiblement parallèles, et qui émettent ces derniers ; un système optique de condensation qui comprend une surface d'incidence et qui condense les faisceaux de lumière émis par le système optique à collimateur, les faisceaux de lumière émis par le système optique à collimateur étant incidents sur ladite surface d'incidence ; et un guide d'ondes optique qui comprend une surface d'incidence ronde et qui est disposé dans une position dans laquelle les faisceaux lumineux émis par le système optique de condensation sont condensés. Lorsque chacun des faisceaux lumineux émis par les sources de lumière laser à semi-conducteur sur la surface d'incidence du système optique de condensation sont tournés autour d'un axe optique virtuel du système optique de condensation et alignés dans la même direction radiale, une partie des faisceaux lumineux adjacents se chevauchent et le rapport entre le nombre maximum et le nombre minimum de faisceaux lumineux qui appartiennent à un groupe de faisceaux lumineux ayant la même distance par rapport à l'axe optique du système optique de condensation est inférieur à 2.
(JA)
複数の半導体レーザ光源を用いて、角度分布の均一性を向上させた光を供給する露光用光源装置を提供する。 複数の半導体レーザ光源と、複数の半導体レーザ光源に対応して配置され、半導体レーザ光源から出射された光線束を略平行の光線束に変換して出射する、複数のコリメート光学系と、コリメート光学系から出射された光線束が入射される入射面を含み、コリメート光学系から出射された光線束を集光する集光光学系と、集光光学系から出射された光線束が集光する位置に配置された、円形状の入射面を含む光導波路とを備え、集光光学系の入射面における、半導体レーザ光源から出射されたそれぞれの光線束は、仮想的に集光光学系の光軸を中心に回転させて、同一の径方向に向かって並べたときに、隣接する光線束の一部が重なり、集光光学系の光軸からの距離が同一である光線束群に属する数の最大値と最小値の比率が2未満である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報