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1. WO2020115870 - セラミックス焼結体及び半導体装置用基板

公開番号 WO/2020/115870
公開日 11.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/044950
国際出願日 06.12.2018
IPC
C04B 35/119 2006.01
C化学;冶金
04セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物
B石灰;マグネシア;スラグ;セメント;その組成物,例.モルタル,コンクリートまたは類似の建築材料;人造石;セラミックス;耐火物;天然石の処理
35組成に特徴を持つ成形セラミック製品;セラミック組成;セラミック製品を製造するための無機化合物粉末の処理
01酸化物を基とするもの
10酸化アルミニウムを基とするもの
111ファインセラミックス
117複合組成物
119酸化ジルコニウムをもつもの
H01L 23/15 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23半導体または他の固体装置の細部
12マウント,例.分離できない絶縁基板
14材料またはその電気特性に特徴のあるもの
15セラミックまたはガラス基板
出願人
  • 日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP]/[JP]
  • NGKエレクトロデバイス株式会社 NGK ELECTRONICS DEVICES, INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 梅田 勇治 UMEDA, Yuji
  • 河野 浩 KOUNO, Hiroshi
代理人
  • 新樹グローバル・アイピー特許業務法人 SHINJYU GLOBAL IP
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CERAMIC SINTERED BODY AND SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICES
(FR) CORPS FRITTÉ EN CÉRAMIQUE ET SUBSTRAT POUR DISPOSITIFS SEMICONDUCTEURS
(JA) セラミックス焼結体及び半導体装置用基板
要約
(EN)
A ceramic sintered body (3) according to the present invention contains Zr, Al, Y and Mg; the content of Zr is from 7.5% by mass to 23.5% by mass (inclusive) in terms of ZrO2; the content of Al is from 74.9% by mass to 91.8% by mass (inclusive) in terms of Al2O3; the content of Y is from 0.41% by mass to 1.58% by mass (inclusive) in terms of Y2O3; and the content of Mg is from 0.10% by mass to 0.80% by mass (inclusive) in terms of MgO. The M-phase ratio after thermal aging of the ceramic sintered body (3) is 15% or less.
(FR)
Un corps fritté en céramique (3) selon la présente invention contient du Zr, de l'Al, du Y et du Mg ; la teneur en Zr varie de 7,5 % en masse à 23,5 % en masse (bornes incluses) en termes de ZrO2 ; la teneur en Al varie de 74,9 % en masse à 91,8 % en masse (bornes incluses) en termes d'Al2O3 ; la teneur en Y varie de 0,41 % en masse à 1,58 % en masse (bornes incluses) en termes de Y2O3 ; et la teneur en Mg varie de 0,10 % en masse à 0,80 % en masse (bornes inclus) en termes de MgO. La proportion de phase M après vieillissement thermique du corps fritté en céramique (3) est inférieure ou égale à 15 %.
(JA)
セラミックス焼結体(3)は、Zrと、Alと、Yと、Mgとを含み、Zrの含有量は、ZrO換算で7.5質量%以上23.5質量%以下であり、Alの含有量は、Al換算で74.9質量%以上91.8質量%以下であり、Yの含有量は、Y換算で0.41質量%以上1.58質量%以下であり、Mgの含有量は、MgO換算で0.10質量%以上0.80質量%以下である。セラミックス焼結体(3)の熱エージング後M相率は、15%以下である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報