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1. WO2020111041 - 多軸角速度センサ

公開番号 WO/2020/111041
公開日 04.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/046103
国際出願日 26.11.2019
IPC
H01L 41/047 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02細部
04圧電または電歪素子のもの
047電極
H01L 41/053 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
02細部
04圧電または電歪素子のもの
053取付具,支持具,囲いまたはケーシング
H01L 41/113 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
113機械的入力および電気的出力をもつもの
H01L 41/29 2013.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
29電極,リードまたは端子配置の形成
H01L 41/332 2013.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
33圧電体または電歪体の成形または機械加工
332エッチングによる,例.リソグラフィ
G01C 19/5628 2012.01
G物理学
01測定;試験
C距離,水準または方位の測定;測量;航行;ジャイロ計器;写真計量または映像計量
19ジャイロスコープ;振動状態の質量体を用いる回転感知装置;運動状態の質量体を持たない回転感知装置;ジャイロ効果を利用した角速度の測定
56振動状態の質量体を用いる回転感知装置,例.コリオリ力に基づく振動型角速度センサ
5607振動状態の音叉を用いるもの
5628製造;トリミング;据え付け;ハウジング
CPC
G01C 19/5628
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5607using vibrating tuning forks
5628Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
H01L 41/047
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
047Electrodes ; or electrical connection arrangements
H01L 41/053
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
04of piezo-electric or electrostrictive devices
053Mounts, supports, enclosures or casings
H01L 41/113
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
113with mechanical input and electrical output ; , e.g. generators, sensors
H01L 41/29
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
29Forming electrodes, leads or terminal arrangements
H01L 41/332
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
33Shaping or machining of piezo-electric or electrostrictive bodies
332by etching, e.g. lithography
出願人
  • 京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 副島 宗高 SOEJIMA, Munetaka
  • ▲高▼浪 俊 TAKANAMI, Shun
代理人
  • 飯島 康弘 IIJIMA, YASUHIRO
優先権情報
2018-22467230.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MULTI-AXIAL ANGULAR VELOCITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE MULTI-AXIAL
(JA) 多軸角速度センサ
要約
(EN)
Provided is a multi-axial angular velocity sensor in which a substrate part which is perpendicular to a D3 axis comprises a pair of long edges which are parallel to a D2 axis and a pair of short edges which are parallel to a D1 axis. Three sensor elements for the three axes are mounted on the upper surface of the substrate part. Piezoelectric bodies of the sensor elements comprise a plurality of arms. The arms extend in prescribed extension directions on the upper surface in plan view. Longitudinal directions of the piezoelectric bodies correspond to the extension directions of the arms. Two of the three sensor elements have the extension directions of the arms oriented parallel to the long edges of the substrate part and are aligned in the direction which is in line with the short edges of the substrate part. The remaining one sensor element has the extension directions of the arms oriented parallel to the short edges and is aligned in the direction which is in line with the long edges with regard to the two sensor elements.
(FR)
Capteur de vitesse angulaire multi-axial dans lequel une partie substrat qui est perpendiculaire à un axe D3 comprend une paire de bords longs qui sont parallèles à un axe D2 et une paire de bords courts qui sont parallèles à un axe D1. Trois éléments capteurs pour les trois axes sont montés sur la surface supérieure de la partie substrat. Des corps piézoélectriques des éléments capteurs comprennent une pluralité de bras. Les bras s'étendent dans des directions d'extension prescrites sur la surface supérieure sur une vue en plan. Les directions longitudinales des corps piézoélectriques correspondent aux directions d'extension des bras. Deux des trois éléments capteurs ont les directions d'extension des bras orientés parallèlement aux bords longs de la partie substrat et sont alignés dans la direction qui est alignée sur les bords courts de la partie substrat. L'élément capteur restant présente les directions d'extension des bras orientés parallèlement aux bords courts et est aligné dans la direction qui est alignée sur les bords longs par rapport aux deux éléments capteurs.
(JA)
多軸角速度センサにおいて、D3軸に直交する基板部は、D2軸に平行な1対の長辺と、D1軸に平行な1対の短辺とを有している。3軸用の3つのセンサ素子は、基板部の上面に実装されている。センサ素子の圧電体は、複数の腕を有している。これらの腕は、上面の平面視において所定の延在方向に延びている。圧電体は、腕の延在方向を長手方向としている。3つのセンサ素子のうち2つは、腕の延在方向が基板部の長辺に平行になる向きで、基板部の短辺に沿う方向に並んでいる。残りの1つは、腕の延在方向が短辺に平行になる向きで、前記2つの素子に対して長辺に沿う方向に並んでいる。
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