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1. WO2020110796 - 熱伝導率推定方法、熱伝導率推定装置、半導体結晶製品の製造方法、熱伝導率演算装置、熱伝導率演算プログラム、および、熱伝導率演算方法

公開後の更新情報
公開日公報種別公開理由
04.06.2020A1最初の国際公開 (ISR 含む)