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1. WO2020110407 - 磁気センサおよび磁気センサの製造方法

公開番号 WO/2020/110407
公開日 04.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/035034
国際出願日 05.09.2019
IPC
G01R 33/02 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33磁気的変量を測定する計器または装置
02磁界または磁束の方向または大きさの測定
H01L 43/00 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
CPC
G01R 33/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
H01L 43/00
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
出願人
  • 昭和電工株式会社 SHOWA DENKO K.K. [JP]/[JP]
発明者
  • 遠藤 大三 ENDO, Daizo
  • 篠 竜徳 SHINO, Tatsunori
  • 大橋 栄久 OHASHI, Haruhisa
代理人
  • 古部 次郎 FURUBE, Jiro
  • 加藤 謹矢 KATO, Kinya
優先権情報
2018-22362329.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MAGNETIC SENSOR AND MAGNETIC SENSOR MANUFACTURING METHOD
(FR) CAPTEUR MAGNÉTIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CAPTEUR MAGNÉTIQUE
(JA) 磁気センサおよび磁気センサの製造方法
要約
(EN)
This magnetic sensor 1 comprises: a nonmagnetic substrate 10; a sensing element 31 that is laminated on the substrate 10, is configured from a soft magnetic material, has a long direction and short direction, has uniaxial magnetic anisotropy in a direction crossing the long direction, and senses a magnetic field using a magnetic impedance effect; and a pair of thin-film magnets 20a, 20b that are laminated on the substrate 10, are disposed so as to oppose each other across the long direction with the sensing element 31 interposed therebetween, and apply a magnetic field in the long direction of the sensing element 31.
(FR)
La présente invention concerne un capteur magnétique (1) qui comprend : un substrat non magnétique (10) ; un élément de détection (31) qui est stratifié sur le substrat (10), qui est configuré à partir d'un matériau magnétique mou, qui présente une direction longue et une direction courte, qui présente une anisotropie magnétique uniaxiale dans une direction croisant la direction longue, et qui détecte un champ magnétique à l'aide d'un effet d'impédance magnétique ; et une paire d'aimants à film mince (20a, 20b) qui sont stratifiés sur le substrat (10), qui sont disposés de sorte à s'opposer l'un à l'autre dans la direction longue avec l'élément de détection (31) intercalé entre eux, et qui appliquent un champ magnétique dans la direction longue de l'élément de détection (31).
(JA)
磁気センサ1は、非磁性の基板10と、基板10上に積層され、軟磁性体で構成され、長手方向と短手方向とを有し、長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子31と、基板10上に積層され、感受素子31を挟んで長手方向に対向して配置され、感受素子31の長手方向に磁界を印加する一対の薄膜磁石20a、20bとを備える。
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