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1. WO2020110264 - 質量分析装置

公開番号 WO/2020/110264
公開日 04.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/044042
国際出願日 29.11.2018
IPC
H01J 49/24 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
02細部
24真空システム,例.所望の圧力を保持するためのもの
G01N 27/62 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
62ガスのイオン化の調査によるもの;放電の調査によるもの,例.陰極の放射
H01J 49/04 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
02細部
04分析材料導入取り出しのための装置,例.真空封止;電子光学的またはイオン光学的構成体の外部調節装置
H01J 49/06 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
02細部
06電子光学的またはイオン光学的装置
H01J 49/10 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
02細部
10イオン源;イオン銃
H01J 49/42 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
26質量分光器または質量分離管
34動的分光器
42走行安定型分光器,例.単極,四重極,多重極;ファービトロン
CPC
G01N 27/62
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
62by investigating the ionisation of gases; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
H01J 49/04
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
04Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
H01J 49/06
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
06Electron- or ion-optical arrangements
H01J 49/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
10Ion sources; Ion guns
H01J 49/24
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
24Vacuum systems, e.g. maintaining desired pressures
H01J 49/42
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
26Mass spectrometers or separator tubes
34Dynamic spectrometers
42Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 上田 学 UEDA, Manabu
  • 中野 智仁 NAKANO, Tomohito
  • 田中 雄樹 TANAKA, Yuki
代理人
  • 特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MASS SPECTROMETER
(FR) SPECTROMÈTRE DE MASSE
(JA) 質量分析装置
要約
(EN)
The mass spectrometer according to the present invention is a single-type quadrupole mass spectrometer in which an ion source derived through an ESI method is mounted, the mass spectrometer being a compact device comprising a vacuum pump that has a relatively low exhaust velocity. The inside diameter of a desolvation pipe (11) for guiding ions from an ionization chamber (2) to a first intermediate vacuum chamber (3) is set to 0.4 mm, which is large for a small-scale mass spectrometer, and the exhaust velocity of a rotary pump (18) is established so that the product of the cross-sectional opening area of the desolvation pipe (11) and the pressure inside the first intermediate vacuum chamber (3) is within the range of 15-40 mm2・Pa. This makes it possible to ensure a high detection sensitivity and to reduce clogging of the desolvation pipe (11) due to liquid droplets. In addition, because the pressure inside the first intermediate vacuum chamber (3) is not set higher than necessary, it is possible to use a compact pump having a low exhaust velocity as the rotary pump (18).
(FR)
La présente invention concerne un spectromètre de masse qui est un spectromètre de masse quadripôle de type unique dans lequel une source d’ions dérivée à travers un procédé ESI est montée, le spectromètre de masse étant un dispositif compact comprenant une pompe à vide qui a une vélocité d’échappement relativement faible. Le diamètre intérieur d’un tuyau de désolvatation (11) destiné à guider des ions d’une chambre d’ionisation (2) vers une première chambre à vide intermédiaire (3) est défini à 0,4 mm, ce qui est large pour un spectromètre de masse à petite échelle, et la vélocité d’échappement d’une pompe rotative (18) est établie de sorte que le produit de l’aire d’ouverture en section transversale du tuyau de désolvatation (11) et de la pression à l’intérieur de la première chambre à vide intermédiaire (3) est compris entre 15 et 40 mm2∙Pa. Cela permet d’assurer une haute sensibilité de détection et de réduire l’encrassement du tuyau de désolvatation (11) en raison de gouttelettes de liquide. De plus, parce que la pression à l’intérieur de la première chambre à vide intermédiaire (3) n’est pas définie au-delà du nécessaire, il est possible d’utiliser une pompe compacte dont la vélocité d’échappement est faible en tant que pompe rotative (18).
(JA)
本発明に係る質量分析装置は、ESI法によるイオン源を搭載したシングルタイプの四重極型質量分析装置であり、排気速度が相対的に小さい真空ポンプを備えた小形の装置である。イオンをイオン化室(2)から第1中間真空室(3)に導入するための脱溶媒管(11)の内径を、小型質量分析装置としては大きな0.4mmφとし、脱溶媒管(11)の断面開口の面積と第1中間真空室(3)内の圧力との積が15~40mm2・Pa の範囲内となるようにロータリーポンプ(18)の排気速度を決める。これにより、高い検出感度を確保するとともに液滴による脱溶媒管(11)の詰まりを軽減できる。また、第1中間真空室(3)内の圧力も必要以上に高くせずに済むため、ロータリーポンプ(18)として排気速度が小さな、小形のものを用いることができる。
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