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1. WO2020110197 - 欠陥検査装置および欠陥検査方法

公開番号 WO/2020/110197
公開日 04.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/043562
国際出願日 27.11.2018
IPC
G01N 29/06 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
29超音波,音波または亜音波の使用による材料の調査または分析;超音波または音波を物体内に伝播させることによる物体内部の可視化
04固体の分析
06内部の可視化,例.音波顕微鏡検査
G01N 29/24 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
29超音波,音波または亜音波の使用による材料の調査または分析;超音波または音波を物体内に伝播させることによる物体内部の可視化
22細部
24探触子
CPC
G01N 29/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
29Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
04Analysing solids
06Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
G01N 29/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
29Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
22Details ; , e.g. general constructional or apparatus details
24Probes
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 吉田 康紀 YOSHIDA, Koki
  • 畠堀 貴秀 HATAHORI, Takahide
  • 田窪 健二 TAKUBO, Kenji
代理人
  • 宮園 博一 MIYAZONO, Hirokazu
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) DEFECT INSPECTION APPARATUS AND DEFECT INSPECTION METHOD
(FR) APPAREIL DE RECHERCHE DE DÉFAUTS ET PROCÉDÉ DE RECHERCHE DE DÉFAUTS
(JA) 欠陥検査装置および欠陥検査方法
要約
(EN)
This defect inspection apparatus (100) is provided with: an excitation unit (1); a laser illumination unit (2); an interference unit (3) for causing laser light to interfere; an imaging unit (35) for imaging interfered reflected light; and a control unit (4) for measuring the spatial distribution of a periodically varying physical quantity arising from propagation of vibration of an inspection object on the basis of the interfered reflected light imaged by the imaging unit, and extracting a discontinuous portion of the vibration on the basis of the spatial distribution of the physical quantity. The control unit is configured so as to perform control for displaying the extracted discontinuous portion of the vibration so as to be emphasized and superposed on a static image of the inspection object imaged by the imaging unit.
(FR)
L'appareil de recherche de défauts (100) selon la présente invention comprend : une unité d'excitation (1) ; une unité d'éclairage laser (2) ; une unité d'interférence (3) pour amener la lumière laser à interférer ; une unité d'imagerie (35) pour imager une lumière d'interférence réfléchie ; et une unité de commande (4) pour mesurer la distribution spatiale d'une quantité physique variant périodiquement issue de la propagation de la vibration d'un objet à inspecter sur la base de la lumière d'interférence réfléchie imagée par l'unité d'imagerie, et extraire une partie discontinue de la vibration sur la base de la distribution spatiale de la quantité physique. L'unité de commande est conçue pour commander un affichage accentué et superposé de la partie discontinue extraite de la vibration sur une image statique de l'objet à inspecter imagé par l'unité d'imagerie.
(JA)
この欠陥検査装置(100)は、励振部(1)と、レーザ照明(2)と、レーザ光を干渉させる干渉部(3)と、干渉された反射光を撮像する撮像部(35)と、撮像部により撮像した干渉された反射光に基づいて、検査対象の振動の伝播により生じる、周期的に変化する物理量の空間分布を測定するとともに、物理量の空間分布に基づいて、振動の不連続部分を抽出する制御部(4)と、を備える。制御部は、撮像部により撮像した検査対象の静止画像に、抽出した振動の不連続部分を強調して重ねて表示する制御を行うように構成されている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報