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1. WO2020110163 - 質量分析装置

公開番号 WO/2020/110163
公開日 04.06.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/043313
国際出願日 26.11.2018
IPC
H01J 49/10 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
49粒子分光器または粒子分離管
02細部
10イオン源;イオン銃
G01N 27/62 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
62ガスのイオン化の調査によるもの;放電の調査によるもの,例.陰極の放射
CPC
G01N 27/62
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
62by investigating the ionisation of gases; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
H01J 49/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
10Ion sources; Ion guns
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 藤岡 真悟 FUJIOKA, Shingo
  • 西口 克 NISHIGUCHI, Masaru
  • 石原 ひかる ISHIHARA, Hikaru
代理人
  • 特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MASS SPECTROMETER
(FR) SPECTROMÈTRE DE MASSE
(JA) 質量分析装置
要約
(EN)
A mass spectrometer according to one embodiment of the present invention includes a conductive probe (14), a high voltage generator (16) for applying a high voltage to the probe (14), a probe moving unit that moves the probe (14) between a sampling position (142) where the tip of the probe (14) is in contact with a sample (132) at a predetermined position, and an ion generation position (141) where the tip is away from the sample (132), an ion inlet (201) provided between the probe (14) at the ion generation position (141) and the sample (132) for taking the ions derived from sample components generated by applying a high voltage to the probe (14) at the ion generation position (141) from the atmospheric pressure atmosphere into the vacuum atmosphere, and an auxiliary electrode (13) which is provided between the probe (14) at the ion generation position (141) and the sample (132) so as to avoid the probe movement path (140) created by the probe moving unit and to which a predetermined potential is applied.
(FR)
Un spectromètre de masse selon un mode de réalisation de la présente invention comprend une sonde conductrice (14), un générateur haute tension (16) pour appliquer une haute tension à la sonde (14), une unité de déplacement de sonde qui déplace la sonde (14) entre une position d'échantillonnage (142) où la pointe de la sonde (14) est en contact avec un échantillon (132) au niveau d'une position prédéterminée, et une position de génération d'ions (141) où la pointe est éloignée de l'échantillon (132), une entrée d'ions (201) disposée entre la sonde (14) au niveau de la position de génération d'ions (141) et de l'échantillon (132) pour prendre les ions issus de composants d'échantillon générés par l'application d'une haute tension à la sonde (14) au niveau de la position de génération d'ions (141) à partir de l'atmosphère à pression atmosphérique dans l'atmosphère sous vide, et une électrode auxiliaire (13) qui est disposée entre la sonde (14) au niveau de la position de génération d'ions (141) et l'échantillon (132) de façon à éviter le trajet de déplacement de sonde (140) créé par l'unité de déplacement de sonde et auquel un potentiel prédéterminé est appliqué.
(JA)
本発明の一態様である質量分析装置は、導電性の探針(14)と、探針(14)に高電圧を印加する高電圧発生部(16)と、探針(14)の先端に試料の一部を付着させるべく、所定位置にある試料(132)に探針(14)の先端が接触する試料採取位置(142)とその先端が試料(132)から離れたイオン生成位置(141)との間で探針(14)を移動させる探針移動部と、イオン生成位置(141)にある探針(14)に高電圧が印加されることで発生した試料成分由来のイオンを、大気圧雰囲気中から真空雰囲気中へ取り込むために、イオン生成位置(141)にある探針(14)と試料(132)との間に設けられたイオン取込口(201)と、イオン生成位置(141)にある探針(14)と試料(132)との間であって、探針移動部による探針の移動経路(140)を避けて設けられ、且つ所定の電位が付与されている補助電極(13)と、を備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報