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1. WO2020105617 - 圧力センサ

公開番号 WO/2020/105617
公開日 28.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/045217
国際出願日 19.11.2019
IPC
G01L 9/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
9電気的または磁気的感圧素子による流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定;流体または流動性固体の定常圧または準定常圧の測定に用いられる機械的感圧素子の変位の電気的または磁気的手段による伝達または指示
G01L 19/04 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
19流動体の定常圧または準定常圧測定装置の細部または付属品であって,特定形式の圧力計に限定されないもの
04温度変化の影響を補償する手段
CPC
G01L 19/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
04Means for compensating for effects of changes of temperature ; , i.e. other than electric compensation
G01L 9/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
出願人
  • アズビル株式会社 AZBIL CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 瀬戸 祐希 SETO, Yuki
  • 石倉 義之 ISHIKURA, Yoshiyuki
  • 小笠原 里奈 OGASAWARA, Rina
代理人
  • 山川 茂樹 YAMAKAWA, Shigeki
  • 山川 政樹 YAMAKAWA, Masaki
優先権情報
2018-21953822.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
要約
(EN)
A pressure sensor (10) comprises: a sensor body (40) that includes a diaphragm (20) including a first principal surface for receiving the pressure of a fluid to be measured and a second principal surface positioned on the side opposite the first principal surface, and that includes a housing (30) that is continuous with and connects to the outer peripheral edge of the diaphragm (20) and supports the diaphragm; a sensing unit (50) that is provided on the second principal surface in order to detect a deformation of the diaphragm (20), and that outputs a first value based on the deformation of the diaphragm (20); a temperature measurement unit (60) for measuring the temperatures of at least two locations on the sensor body (40); a correction unit (70) for correcting the first value by using the measured temperatures of the at least two locations; and a pressure calculation unit (80) for calculating the pressure of the fluid from the corrected first value. The foregoing makes it possible to suppress the impact of output fluctuation caused by thermal deformation of the diaphragm (20).
(FR)
L'invention concerne un capteur de pression (10) qui comprend : un corps de capteur (40) qui comprend un diaphragme (20) comprenant une première surface principale pour recevoir la pression d'un fluide à mesurer et une seconde surface principale positionnée sur le côté opposé à la première surface principale, et qui comprend un boîtier (30) qui est continu avec le bord périphérique externe de le diaphragme (20) et se raccorde à celui-ci et porte le diaphragme ; une unité de détection (50) qui est disposée sur la seconde surface principale afin de détecter une déformation du diaphragme (20), et qui délivre en sortie une première valeur basée sur la déformation du diaphragme (20) ; une unité de mesure de température (60) pour mesurer les températures d'au moins deux emplacements sur le corps de capteur (40) ; une unité de correction (70) pour corriger la première valeur en utilisant les températures mesurées desdits au moins deux emplacements ; et une unité de calcul de pression (80) pour calculer la pression du fluide à partir de la première valeur corrigée. Ce qui précède permet de supprimer l'impact de la fluctuation de sortie provoquée par la déformation thermique du diaphragme (20).
(JA)
圧力センサ(10)は、測定対象の流体の圧力を受ける第1主面及びこの第1主面の反対側に位置する第2主面を含むダイアフラム(20)とダイアフラム(20)の外周縁に連接してこれを支持するハウジング(30)とを含むセンサボディ(40)と、ダイアフラム(20)の変形を検出するために第2主面上に配設され、ダイアフラム(20)の変形に対応した第1の値を出力するセンシング部(50)と、センサボディ(40)上の少なくとも2つの位置の温度を測定する温度測定部(60)と、少なくとも2つの位置の測定温度を用いて第1の値を補正する補正部(70)と、補正された第1の値から流体の圧力を算出する圧力算出部(80)と、を備えている。これにより、ダイアフラム(20)の熱変形に起因した出力変動の影響を抑制することができる。
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