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1. WO2020105558 - バッキングプレート、スパッタリングターゲットおよびそれらの製造方法

公開番号 WO/2020/105558
公開日 28.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/044890
国際出願日 15.11.2019
IPC
C23C 14/34 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
34スパッタリング
B23K 15/00 2006.01
B処理操作;運輸
23工作機械;他に分類されない金属加工
Kハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
15電子ビーム溶接または切断
B23K 20/12 2006.01
B処理操作;運輸
23工作機械;他に分類されない金属加工
Kハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
20加熱するかまたは加熱することなく,衝撃または他の圧力を加えることによる非電気的接合,例.クラッド法または被せ金法
12熱が摩擦により発生されるもの;摩擦接合
CPC
B23K 15/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
15Electron-beam welding or cutting
B23K 20/12
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
20Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
12the heat being generated by friction; Friction welding
C23C 14/34
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
出願人
  • 住友化学株式会社 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 西岡 宏司 NISHIOKA, Koji
  • 佐藤 尚也 SATOH, Naoya
代理人
  • 中山 亨 NAKAYAMA, Tohru
  • 坂元 徹 SAKAMOTO, Toru
優先権情報
2018-21802421.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) BACKING PLATE, SPUTTERING TARGET, AND PRODUCTION METHODS THEREFOR
(FR) PLAQUE D’APPUI, CIBLE DE PULVÉRISATION, ET PROCÉDÉS DE PRODUCTION CORRESPONDANTS
(JA) バッキングプレート、スパッタリングターゲットおよびそれらの製造方法
要約
(EN)
The present invention addresses the problem of providing a production method, for producing a backing plate, which can reduce misalignment in a groove. The present invention pertains to a production method for producing a backing plate, and the production method comprises joining a plate-shaped body having a groove in one side surface thereof, and a lid member to each other, wherein the groove has at least two first portions extending in the longitudinal direction, a region where the body and the lid member are joined to each other has at least four first joined regions which extend in the longitudinal direction and correspond to two opposing side surfaces in each of the at least two first portions, and the joining of the body and the lid member to each other in the at least four first joined regions includes (a) joining the body and the lid member to each other in one, of the first joined regions, corresponding to one of the side surfaces of one of the first portions, (b) joining the body and the lid member to each other in one, of the joined regions, corresponding to one of the side surfaces of another one of the first portions, among the remaining joined regions, and (c) repeating the joining step (b).
(FR)
La présente invention aborde le problème consistant à fournir un procédé de production, permettant de produire une plaque d’appui, qui peut réduire un défaut d’alignement dans une rainure. La présente invention concerne un procédé de production permettant de produire une plaque d’appui, et le procédé de production comprend l'assemblage d'un corps en forme de plaque comportant une rainure dans sa surface latérale, et d’un élément couvercle l'un avec l'autre. La rainure comporte au moins deux premières parties s'étendant dans la direction longitudinale, une région où le corps et l'élément couvercle sont assemblés l'un avec l'autre présente au moins quatre premières régions assemblées qui s'étendent dans la direction longitudinale et correspondent à deux surfaces latérales opposées dans lesdites deux premières parties, et l'assemblage du corps et de l'élément couvercle l'un avec l’autre dans lesdites quatre premières régions assemblées comprend (a) l’assemblage du corps et de l'élément couvercle l'un avec l’autre dans l'une des premières régions assemblées, correspondant à l'une des surfaces latérales de l'une des premières parties, (b) l’assemblage du corps et de l'élément couvercle l'un avec l’autre dans l'une des régions assemblées, correspondant à l'une des surfaces latérales d'une autre des premières parties, parmi les régions assemblées restantes, et (c) la répétition de l'étape d'assemblage (b).
(JA)
溝の位置ずれを低減可能なバッキングプレートの製造方法を提供することを課題とする。 本発明は、溝を片面に有する板状の本体と、蓋部材とを接合することを含むバッキングプレートの製造方法であって、溝が、長手方向に延在する少なくとも2つの第1部分を含み、本体と蓋部材との被接合領域が、長手方向に延在し、かつ、少なくとも2つの第1部分において対向する各2つの側面に対応する少なくとも4つの第1被接合領域を含み、少なくとも4つの第1被接合領域における本体と蓋部材との接合を、(a)1つの第1部分における1つの側面に対応する1つの第1被接合領域において本体と蓋部材とを接合すること、(b)残りの被接合領域のうち、別の第1部分における1つの側面に対応する1つの被接合領域において本体と蓋部材とを接合すること、および、(c)工程(b)を繰り返すことによって実施する、バッキングプレートの製造方法に関する。
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