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1. WO2020105522 - 保持装置および保持装置の製造方法

公開番号 WO/2020/105522
公開日 28.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/044467
国際出願日 13.11.2019
IPC
H05B 3/02 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
3抵抗加熱
02細部
H01L 21/683 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683支持または把持のためのもの
H05B 3/10 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
3抵抗加熱
10材料の組成または性質または導体の配置に特徴のある加熱要素(組成それ自体は,関連するサブクラスを参照)
H05B 3/74 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
B電気加熱;他に分類されない電気照明
3抵抗加熱
68特に料理板あるいは類似加熱板に適した加熱装置
74非金属板
CPC
H01L 21/683
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
H05B 3/02
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Ohmic-resistance heating
02Details
H05B 3/10
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Ohmic-resistance heating
10Heater elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
H05B 3/12
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Ohmic-resistance heating
10Heater elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
12characterised by the composition or nature of the conductive material
H05B 3/74
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Ohmic-resistance heating
68Heating arrangements specially adapted for cooking plates or analogous hot-plates
74Non-metallic plates ; , e.g. vitroceramic, ceramic or glassceramic hobs, also including power or control circuits
出願人
  • 日本特殊陶業株式会社 NGK SPARK PLUG CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 坂巻 龍之介 SAKAMAKI Ryunosuke
  • 高岡 勝哉 TAKAOKA Katsuya
  • 渡邊 洋史 WATANABE Hiroshi
代理人
  • 特許業務法人アルファ国際特許事務所 ALPHA INTERNATIONAL PATENT FIRM
優先権情報
2018-21611519.11.2018JP
2018-21611619.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF DE MAINTIEN
(JA) 保持装置および保持装置の製造方法
要約
(EN)
The purpose of the present invention is to suppress a variation in the amount of heat generation from a heat-generating resistor, said variation resulting from a variation in the resistance value of a power-supply connecting member. A holding device according to the present invention: is provided with a ceramic member formed of a ceramic sintered body a main constituent of which is an aluminum nitride, a metal heat-generating resistor disposed in the interior of the ceramic member, an electroconductive power-supply connecting member in contact with the heat-generating resistor, and an electroconductive power supply terminal electrically connected to the power-supply connecting member; and holds an object of interest on a surface of the ceramic member. At least a portion of the surface of the power-supply connecting member, said surface excluding the surface in contact with the heat-generating resistor and the surface connected to the power supply terminal, is covered with a coat layer formed of a nitride containing at least one of Al, Ti, Zr, V, Ta, and Nb.
(FR)
Le but de la présente invention est de supprimer une variation de la quantité de génération de chaleur à partir d'une résistance de génération de chaleur, ladite variation résultant d'une variation de la valeur de résistance d'un élément de connexion d'alimentation électrique. Un dispositif de maintien selon la présente invention : est pourvu d'un élément en céramique formé d'un corps fritté en céramique dont un constituant principal est un nitrure d'aluminium, d'une résistance de génération de chaleur métallique disposée à l'intérieur de l'élément en céramique, d'un élément de connexion d'alimentation électrique électroconducteur en contact avec la résistance de génération de chaleur, et d'une borne d'alimentation électrique électroconductrice connectée électriquement à l'élément de connexion d'alimentation électrique ; et maintient un objet d'intérêt sur une surface de l'élément céramique. Au moins une partie de la surface de l'élément de connexion d'alimentation électrique, ladite surface excluant la surface en contact avec la résistance de génération de chaleur et la surface connectée à la borne d'alimentation électrique, est recouverte d'une couche de revêtement formée d'un nitrure contenant au moins un élément parmi Al, Ti, Zr, V, Ta et Nb.
(JA)
給電接続部材の抵抗値のバラツキに起因する発熱抵抗体の発熱量のバラツキを抑制する。 保持装置は、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックス焼結体により形成されたセラミックス部材と、セラミックス部材の内部に配置された金属製の発熱抵抗体と、発熱抵抗体と接する導電性の給電接続部材と、給電接続部材と電気的に接続された導電性の給電端子とを備え、セラミックス部材の表面上に対象物を保持する装置である。給電接続部材の表面の内、発熱抵抗体との接触面と給電端子との接続面とを除く表面の少なくとも一部は、AlとTiとZrとVとTaとNbとの少なくとも1つを含有する窒化物により形成されたコート層に覆われている。
他の公開
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