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1. WO2020105487 - pH計測装置及びpH計測方法

公開番号 WO/2020/105487
公開日 28.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/044110
国際出願日 11.11.2019
IPC
G01N 27/28 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
26電気化学的変量の調査によるもの;電解または電気泳動の利用によるもの
28電解セル要素
G01N 27/38 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
26電気化学的変量の調査によるもの;電解または電気泳動の利用によるもの
28電解セル要素
30電極,例.試験電極;半電池
38電極の洗浄
G01N 27/416 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
26電気化学的変量の調査によるもの;電解または電気泳動の利用によるもの
416システム
CPC
G01N 27/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
26by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
28Electrolytic cell components
G01N 27/38
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
26by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
28Electrolytic cell components
30Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells
38Cleaning of electrodes
G01N 27/416
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
26by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
416Systems
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 塩川 俊行 SHIOKAWA Toshiyuki
代理人
  • 永井 浩之 NAGAI Hiroshi
  • 中村 行孝 NAKAMURA Yukitaka
  • 朝倉 悟 ASAKURA Satoru
  • 森 秀行 MORI Hideyuki
  • 村越 卓 MURAKOSHI Suguru
優先権情報
2018-21938622.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PH MEASURING DEVICE AND PH MEASURING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE PH ET PROCÉDÉ DE MESURE DE PH
(JA) pH計測装置及びpH計測方法
要約
(EN)
This pH measuring device measures the pH of a test liquid and is provided with a body block comprising: a void section; a supply line that communicates with the void section; a first discharge line that communicates with the void section; and a test liquid supply valve that adjusts the supply of the test liquid to the supply line. The body block has an integrated structure in which a pH sensor is supported so as to come into contact with the test liquid in the void section.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de mesure de pH qui mesure le pH d'un liquide de test et comprend un bloc de corps comprenant : une section de vide ; une ligne d'alimentation qui communique avec la section de vide ; une première ligne d'évacuation qui communique avec la section de vide ; et une vanne d'alimentation en liquide de test qui règle l'alimentation du liquide de test sur la ligne d'alimentation. Le bloc de corps présente une structure intégrée dans laquelle un capteur de pH est maintenu de façon à entrer en contact avec le liquide de test dans la section de vide.
(JA)
被検液のpHを計測するpH計測装置は、空隙部と、空隙部に連通する供給ラインと、空隙部に連通する第1排出ラインと、供給ラインへの被検液の供給を調整する被検液供給バルブと、を有する本体ブロックであって、pHセンサが空隙部内の被検液に接触するようにpHセンサを支持する一体構造の本体ブロックを備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報