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1. WO2020105281 - 光配向用露光装置及び光配向用露光方法

公開番号 WO/2020/105281
公開日 28.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/038227
国際出願日 27.09.2019
IPC
G02F 1/1337 2006.01
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
133構造配置;液晶セルの作動;回路配置
1333構造配置
1337液晶分子の界面による配向,例.配向層
CPC
G02F 1/1337
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics
01for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
13based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
1333Constructional arrangements; ; Manufacturing methods
1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
出願人
  • 株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 吉田 祐治 YOSHIDA Yuji
  • 池田 聡 IKEDA Satoshi
  • 新井 敏成 ARAI Toshinari
代理人
  • 特許業務法人 英知国際特許事務所 EICHI PATENT & TRADEMARK CORP.
優先権情報
2018-21715320.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PHOTO-ALIGNMENT EXPOSURE APPARATUS AND PHOTO-ALIGNMENT EXPOSURE METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION À PHOTO-ALIGNEMENT
(JA) 光配向用露光装置及び光配向用露光方法
要約
(EN)
The present invention achieves space saving and cost reduction for an oblique-exposure photo-alignment exposure apparatus capable of creating a stable pre-tilt angle, while allowing the photo-alignment exposure apparatus to achieve effective oblique exposure on a workpiece having a wide area to be processed by the scanning exposure method. The photo-alignment exposure apparatus includes an irradiation unit for irradiating the surface of a workpiece to be made into a photo-alignment film with polarized light and a scanner unit that moves the surface of the workpiece relative to the light irradiation region irradiated by the irradiation unit; the irradiation unit includes an oblong light source that is longer along the width direction of the workpiece and an irradiation angle restricting part that limits the irradiation angle of light emitted onto the light irradiation region to a specific direction along the width direction.
(FR)
La présente invention réalise une économie d'espace et une réduction de coût pour un appareil d'exposition à photo-alignement à exposition oblique permettant de créer un angle de pré-inclinaison stable, tout en permettant à l'appareil d'exposition à photo-alignement d'obtenir une exposition oblique efficace sur une pièce à travailler ayant une zone large devant être traitée par le procédé d'exposition par balayage. L'appareil d'exposition à photo-alignement comprend une unité d'irradiation pour irradier la surface d'une pièce à travailler à réaliser dans un film à photo-alignement avec une lumière polarisée et une unité de balayage qui déplace la surface de la pièce à travailler par rapport à la région d'irradiation de lumière irradiée par l'unité d'irradiation ; l'unité d'irradiation comprend une source de lumière oblongue qui est plus longue dans la direction de la largeur de la pièce à travailler et une partie de limitation d'angle d'irradiation qui limite l'angle d'irradiation de la lumière émise sur la région d'exposition à la lumière à une direction spécifique le long de la direction de la largeur.
(JA)
プレチルト角を安定して出現させることができる斜め露光法を行う光配向露光装置において、省スペース化及び低額化を可能にすると共に、走査露光方式により広い処理面積のワークに対して、効果的な斜め露光を実現できるようにする。光配向用露光装置は、光配向膜になるワークの表面に偏光光を照射する照射部と、照射部の光照射領域に対して表面を相対的に移動させる走査部とを備え、照射部は、ワークの幅方向に沿って長尺な光源を備え、光照射領域に照射される光の照射角度を幅方向に沿って特定の方向に制限する照射角度制限部材を備える。
他の公開
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