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1. WO2020105213 - 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法

公開番号 WO/2020/105213
公開日 28.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/026489
国際出願日 03.07.2019
IPC
G01Q 20/02 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
20プローブの動きまたは位置の監視
02光学的手段によるもの
CPC
G01Q 20/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
20Monitoring the movement or position of the probe
02by optical means
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 平出 雅人 HIRADE, Masato
代理人
  • 特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
2018-21736020.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE AND SCANNING PROBE MICROSCOPE OPTICAL AXIS ADJUSTMENT METHOD
(FR) MICROSCOPE À SONDE DE BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'AXE OPTIQUE DE MICROSCOPE À SONDE DE BALAYAGE
(JA) 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法
要約
(EN)
This scanning probe microscope comprises: a cantilever (2) having a probe (7) on the distal end thereof; an optical system (80) for emitting laser light onto the cantilever and detecting the laser light reflected by the cantilever; a photography unit (10) for photographing a range including the position of the distal end of the cantilever (2) during adjustment of the optical axis of the laser light; an image processing unit (72) for detecting the position of the distal end of the probe and a laser light spot position from an image generated by the photography unit (10); an optical axis adjustment unit (73) for adjusting the optical axis of the laser light on the basis of the detected positions; and a sample holding unit (44) for holding a sample. The sample holding unit (44) includes a mirror (33).
(FR)
Ce microscope à sonde de balayage comprend : un microlevier (2) muni d'une sonde (7) sur son extrémité distale ; un système optique (80) pour émettre une lumière laser sur le microlevier et détecter la lumière laser réfléchie par celui-ci ; une unité de photographie (10) pour photographier une plage comprenant la position de l'extrémité distale du microlevier (2) pendant le réglage de l'axe optique de la lumière laser ; une unité de traitement d'image (72) pour détecter la position de l'extrémité distale de la sonde et une position de point lumineux laser à partir d'une image générée par l'unité de photographie (10) ; une unité de réglage d'axe optique (73) pour ajuster l'axe optique de la lumière laser sur la base des positions détectées ; et une unité de support d'échantillon (44) pour supporter un échantillon. L'unité de support d'échantillon (44) comprend un miroir (33).
(JA)
走査型プローブ顕微鏡は、先端部に探針(7)を有するカンチレバー(2)と、レーザ光をカンチレバーに照射し、カンチレバーで反射されたレーザ光を検出する光学系(80)と、レーザ光の光軸調整時にカンチレバー(2)の先端の位置を含む範囲を撮影するための撮影部(10)と、撮影部(10)で生成された画像から探針の先端の位置と、レーザ光のスポットの位置を検出する画像処理部(72)と、検出した位置に基づいて、レーザ光の光軸を調整する光軸調整部(73)と、試料を保持するための試料保持部(44)とを備える。試料保持部(44)は、ミラー(33)を含む。
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