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1. WO2020095875 - ロボットハンド及びそれを備えるロボット

公開番号 WO/2020/095875
公開日 14.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/043207
国際出願日 05.11.2019
IPC
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B25J 15/08 2006.01
B処理操作;運輸
25手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
Jマニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
15把持部
08指部材を有するもの
CPC
B25J 15/08
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
15Gripping heads ; and other end effectors
08having finger members
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
出願人
  • 川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP]
発明者
  • 福島 崇行 FUKUSHIMA, Takayuki
  • 松岡 翔吾 MATSUOKA, Shogo
代理人
  • 特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE
優先権情報
2018-20898306.11.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ROBOT HAND AND ROBOT EQUIPPED WITH SAME
(FR) MAIN DE ROBOT ET ROBOT LA COMPRENANT
(JA) ロボットハンド及びそれを備えるロボット
要約
(EN)
Provided is a robot hand for holding a substrate by abutting on at least two locations on the edge of the substrate. The robot hand is provided with: a base body having a holding position defined so that the center of the substrate is positioned on a center line extending in the length direction; and a rotating portion which is rotatable, about a supported point located on the proximal end side of a second abutment portion on the center line, integrally with the second abutment portion on a plane in which the length direction and the thickness direction intersect with each other, and which is movable integrally with the second abutment portion. The robot hand is characterized in that, when holding the substrate, the second abutment portion is subjected to a reactive force from the substrate, whereby the rotating portion and the second abutment portion integrally rotate about the supported point toward the base body on the plane in which the length direction and the thickness direction intersect with each other.
(FR)
L'invention concerne une main de robot pour maintenir un substrat en venant en butée sur au moins deux emplacements sur le bord du substrat. La main de robot comprend : un corps de base ayant une position de maintien définie de telle sorte que le centre du substrat est positionné sur une ligne centrale s'étendant dans la direction de la longueur ; et une partie rotative qui est rotative, autour d'un point supporté situé sur le côté d'extrémité proximale d'une seconde partie de butée sur la ligne centrale, d'un seul tenant avec la seconde partie de butée sur un plan dans lequel la direction de la longueur et la direction de l'épaisseur se croisent, et qui est mobile d'un seul tenant avec la seconde partie de butée. La main de robot est caractérisée en ce que, lors du maintien du substrat, la seconde partie de butée est soumise à une force réactive provenant du substrat, la partie rotative et la seconde partie de butée tournant d'un seul tenant autour du point supporté vers le corps de base sur le plan dans lequel la direction de la longueur et la direction de l'épaisseur se croisent.
(JA)
基板のエッジ上の少なくとも2箇所に当接して前記基板を把持するためのロボットハンドであって、長さ方向に延びる中心線上に基板の中心が位置するような把持位置が規定されるベース体と、前記中心線上の第2当接部よりも基端側に存する被支持点を中心として、長さ方向と厚み方向とが交わる平面上で第2当接部と一体的に回転可能であり、且つ、前記第2当接部と一体的に移動可能な回転部と、を備え、基板を把持するとき、第2当接部が基板から反力を受けることで、回転部及び第2当接部が、被支持点を中心として長さ方向と厚み方向とが交わる平面上でベース体の側へと一体的に回転することを特徴とする。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報