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1. WO2020090605 - 平行度調整装置、ピックアップ装置、実装装置、平行度調整方法、ピックアップ方法、及び実装方法

公開番号 WO/2020/090605
公開日 07.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/041642
国際出願日 24.10.2019
IPC
H01L 21/52 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50サブグループH01L21/06~H01L21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
52容器中への半導体本体のマウント
H01L 21/67 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
出願人
  • 東レエンジニアリング株式会社 TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 寺田 勝美 TERADA, Katsumi
  • 晴 孝志 HARE, Takashi
優先権情報
2018-20271829.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PARALLELISM ADJUSTING DEVICE, PICKUP DEVICE, MOUNTING DEVICE, PARALLELISM ADJUST METHOD, PICKUP METHOD, AND MOUNTING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE RÉGLAGE DE PARALLÉLISME, DISPOSITIF DE CAPTURE, DISPOSITIF DE MONTAGE, PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE PARALLÉLISME, PROCÉDÉ DE CAPTURE ET PROCÉDÉ DE MONTAGE
(JA) 平行度調整装置、ピックアップ装置、実装装置、平行度調整方法、ピックアップ方法、及び実装方法
要約
(EN)
The present invention addresses the problem of performing parallelism adjustment accurately and easily. Specifically, this parallelism adjusting device is provided with: a first light emitting unit and a second light emitting unit which are disposed at an interval in a first direction and capable of emitting linear laser light toward an opposing second direction; a first light-receiving unit and a second light-receiving unit which are disposed at an interval in the second direction and which are respectively capable of receiving the linear laser light emitted from the first light emitting unit and the linear laser light emitted from the second light emitting unit; a drive unit which drives a second target unit to adjust the parallelism between the first target unit and the second target unit; and a control unit which controls the drive unit on the basis of a light-receiving length in the linear direction of the linear laser light received by the first light-receiving unit and the second light-receiving unit. The first light emitting unit and the second light emitting unit, in an approximately opposed state in which the first target unit and the second target unit are approximately opposed to each other, are configured to emit linear laser light toward the first light-receiving unit and the second light-receiving unit in a direction perpendicular to an approximately opposed direction.
(FR)
La présente invention aborde le problème de réalisation d'un réglage de parallélisme avec précision et facilement. Spécifiquement, ce dispositif de réglage de parallélisme comprend : une première unité électroluminescente et une seconde unité électroluminescente qui sont disposées à un intervalle dans une première direction et capables d'émettre une lumière laser linéaire vers une seconde direction opposée ; une première unité de réception de lumière et une seconde unité de réception de lumière qui sont disposées à un intervalle dans la seconde direction et qui sont respectivement aptes à recevoir la lumière laser linéaire émise par la première unité électroluminescente et la lumière laser linéaire émise par la seconde unité électroluminescente ; une unité d'entraînement qui amène une seconde unité cible à régler le parallélisme entre la première unité cible et la seconde unité cible ; et une unité de commande qui commande l'unité d'entraînement sur la base d'une longueur de réception de lumière dans la direction linéaire de la lumière laser linéaire reçue par la première unité de réception de lumière et la seconde unité de réception de lumière. La première unité électroluminescente et la seconde unité électroluminescente, dans un état approximativement opposé dans lequel la première unité cible et la seconde unité cible sont approximativement opposées l'une à l'autre, sont configurées pour émettre une lumière laser linéaire vers la première unité de réception de lumière et la seconde unité de réception de lumière dans une direction perpendiculaire à une direction approximativement opposée.
(JA)
手間がかからず、正確に平行度調整することを課題とする。具体的には、第1方向において間隔をおいて配置され、対向する第2方向に向けて線状に線状レーザ光を発光可能な第1発光部及び第2発光部と、第2方向において間隔をおいて配置され、第1発光部から発光された線状レーザ光を受光可能な第1受光部、及び第2発光部から発光された線状レーザ光を受光可能な第2受光部と、第2対象部を駆動させて第1対象部と第2対象部との平行度を調整する駆動部と、第1受光部及び第2受光部が受光した線状レーザ光における線状方向の受光長さに基づいて駆動部を制御する制御部と、を備え、第1発光部及び第2発光部は、第1対象部と第2対象部とを略対向させた略対向状態で、第1受光部及び第2受光部に向けて、略対向方向と交差する方向の線状レーザ光を発光させる構成とした。
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